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半導(dǎo)體檢測(cè)助力者Zygo光學(xué)輪廓儀

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半導(dǎo)體檢測(cè)助力者Zygo光學(xué)輪廓儀
在半導(dǎo)體行業(yè),芯片表面電路的細(xì)微缺陷可能影響產(chǎn)品性能,Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 憑借對(duì)微觀形貌的精準(zhǔn)捕捉能力,成為半導(dǎo)體檢測(cè)環(huán)節(jié)的可靠助力。

產(chǎn)品型號(hào):Zygo NewView 9000
更新時(shí)間:2026-01-13
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:215
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半導(dǎo)體檢測(cè)助力者Zygo光學(xué)輪廓儀

在半導(dǎo)體行業(yè),芯片表面電路的細(xì)微缺陷可能影響產(chǎn)品性能,Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 憑借對(duì)微觀形貌的精準(zhǔn)捕捉能力,成為半導(dǎo)體檢測(cè)環(huán)節(jié)的可靠助力。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)上,NewView™ 9000 針對(duì)半導(dǎo)體樣本檢測(cè)做了貼心設(shè)計(jì)。它配備的專用半導(dǎo)體樣本夾具,能牢固固定不同尺寸的晶圓,避免檢測(cè)時(shí)晶圓移位。設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)可精準(zhǔn)聚焦到芯片上的微小電路區(qū)域,搭配高清成像功能,工作人員能清晰看到電路線條的邊緣形態(tài)。操作面板上設(shè)有半導(dǎo)體檢測(cè)常用的快捷模式,一鍵即可調(diào)用適配的檢測(cè)參數(shù),減少重復(fù)設(shè)置步驟。
性能方面,該設(shè)備采用的非接觸式檢測(cè)方式,不會(huì)對(duì)晶圓表面的脆弱電路造成損傷,適合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)樣本保護(hù)的高要求。在檢測(cè)精度上,能捕捉到納米級(jí)的電路高度差與線寬偏差,幫助工作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)電路制造中的細(xì)微問(wèn)題。同時(shí),設(shè)備的檢測(cè)流程可自動(dòng)化運(yùn)行,批量檢測(cè)晶圓時(shí)能保持?jǐn)?shù)據(jù)的一致性,提升半導(dǎo)體生產(chǎn)中的檢測(cè)效率。
用材上,NewView™ 9000 的主體框架選用抗磁干擾的合金材料,避免半導(dǎo)體車間的電磁環(huán)境影響檢測(cè)精度。光學(xué)部件采用耐磨損的特種玻璃,長(zhǎng)期接觸半導(dǎo)體生產(chǎn)中的潔凈環(huán)境,也能保持穩(wěn)定的光學(xué)性能,減少部件更換頻率。
以下是 Zygo 3D 光學(xué)輪廓儀 NewView™ 9000 的部分參數(shù)表:
參數(shù)類別
參數(shù)詳情
檢測(cè)技術(shù)
光學(xué)干涉技術(shù)(相移干涉、白光干涉可選)
垂直分辨率
可達(dá) 0.1nm(取決于檢測(cè)模式與樣本特性)
樣本兼容性
支持最大直徑 300mm 晶圓檢測(cè)(需適配專用夾具)
檢測(cè)速度
單區(qū)域檢測(cè)耗時(shí)可短至幾秒(根據(jù)檢測(cè)范圍調(diào)整)
數(shù)據(jù)處理
支持半導(dǎo)體專用缺陷分析算法
用途上,除了半導(dǎo)體晶圓檢測(cè),它還可用于半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)的引腳高度檢測(cè)、封裝膠體表面平整度分析等。在芯片研發(fā)階段,能輔助工程師觀察新電路設(shè)計(jì)的實(shí)際成型效果,為優(yōu)化設(shè)計(jì)方案提供數(shù)據(jù)參考。
使用時(shí),先將設(shè)備置于半導(dǎo)體潔凈車間的防震工作臺(tái)上,連接專用電源與控制電腦。安裝半導(dǎo)體樣本夾具,將晶圓平穩(wěn)固定,通過(guò)軟件調(diào)整樣本臺(tái)位置,使待檢測(cè)區(qū)域?qū)?zhǔn)光學(xué)鏡頭。選擇 “半導(dǎo)體檢測(cè)模式",根據(jù)晶圓規(guī)格設(shè)置檢測(cè)范圍與分辨率,啟動(dòng)檢測(cè)后,設(shè)備會(huì)自動(dòng)采集數(shù)據(jù)并生成三維圖像與缺陷分析報(bào)告。檢測(cè)結(jié)束后,關(guān)閉軟件與電源,用潔凈的專用擦拭布清潔樣本臺(tái)和鏡頭,妥善收納夾具。

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