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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作流程與場景適配

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作流程與場景適配
ZeGage Pro 機(jī)身采用高強(qiáng)度鋁合金框架,厚度 5mm,經(jīng)時(shí)效處理后抗拉強(qiáng)度達(dá) 300MPa,支撐內(nèi)部精密部件穩(wěn)定安裝,同時(shí)控制整機(jī)重量約 35kg,便于實(shí)驗(yàn)室移動(dòng)。

產(chǎn)品型號:ZeGage Pro
更新時(shí)間:2025-10-23
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:150
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀操作流程與場景適配

一、整體結(jié)構(gòu)與機(jī)身用材
ZeGage Pro 機(jī)身采用高強(qiáng)度鋁合金框架,厚度 5mm,經(jīng)時(shí)效處理后抗拉強(qiáng)度達(dá) 300MPa,支撐內(nèi)部精密部件穩(wěn)定安裝,同時(shí)控制整機(jī)重量約 35kg,便于實(shí)驗(yàn)室移動(dòng)。外殼為 ABS+PC 合金塑料,表面啞光處理,抗沖擊且減少環(huán)境光反射干擾,防護(hù)等級 IP42,可阻擋灰塵與輕微濺液。
機(jī)身底部配備 4 個(gè)橡膠腳墊(直徑 30mm),摩擦系數(shù) 0.8,避免設(shè)備移位;頂部操作面板為鋼化玻璃(厚度 3mm,透光率 92%),耐磨防刮,支持觸控操作,日常清潔用無塵布蘸清水擦拭即可。
二、核心部件用材與性能
(一)光學(xué)系統(tǒng)用材
  1. 物鏡組:鏡片采用高折射率低色散玻璃(LaK 系列),多層鍍膜(每層厚 100-200nm),透光率達(dá) 98% 以上,減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼(SUS304),同軸度誤≤0.01mm,確保光路精準(zhǔn),適配 5X-50X 不同倍率需求。

  1. 干涉儀模塊:核心棱鏡為石英材質(zhì)(耐溫 - 50℃-200℃,折射率穩(wěn)定),分光膜采用 dielectric 涂層,分光比誤≤2%,保證干涉信號穩(wěn)定,支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。

  1. 光源組件:LED 燈珠為高亮度貼片式(單顆功率 1W,壽命 50000 小時(shí)),散熱外殼為鋁合金,帶鰭片結(jié)構(gòu)(間距 2mm),連續(xù)工作 4 小時(shí)溫度升幅≤15℃,避免亮度衰減。

(二)樣品臺用材
手動(dòng)樣品臺臺面為航空級鋁合金(表面平整度≤0.005mm),有效承載面積 200mm×150mm,可放重量≤5kg 樣品。移動(dòng)導(dǎo)軌為不銹鋼(GCr15),淬火后硬度 HRC60,配合 POM 螺母,傳動(dòng)精度 0.001mm,手動(dòng)調(diào)節(jié)順滑無卡頓。
自動(dòng)樣品臺(選配)驅(qū)動(dòng)電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)(步距角 1.8°),外殼為釹鐵硼永磁材料,體積小且扭矩足,X/Y 軸行程 100mm×80mm,定位精度 0.0005mm,適配批量樣品自動(dòng)檢測。

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