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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性
正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運行和測量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。

產(chǎn)品型號:ZeGage Pro
更新時間:2025-10-23
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:130
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性


一、整體結(jié)構(gòu)與機身用材
ZeGage Pro 機身采用高強度鋁合金框架,厚度 5mm,經(jīng)時效處理后抗拉強度達 300MPa,支撐內(nèi)部精密部件穩(wěn)定安裝,同時控制整機重量約 35kg,便于實驗室移動。外殼為 ABS+PC 合金塑料,表面啞光處理,抗沖擊且減少環(huán)境光反射干擾,防護等級 IP42,可阻擋灰塵與輕微濺液。
機身底部配備 4 個橡膠腳墊(直徑 30mm),摩擦系數(shù) 0.8,避免設(shè)備移位;頂部操作面板為鋼化玻璃(厚度 3mm,透光率 92%),耐磨防刮,支持觸控操作,日常清潔用無塵布蘸清水擦拭即可。
二、核心部件用材與性能
(一)光學(xué)系統(tǒng)用材
  1. 物鏡組:鏡片采用高折射率低色散玻璃(LaK 系列),多層鍍膜(每層厚 100-200nm),透光率達 98% 以上,減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼(SUS304),同軸度誤≤0.01mm,確保光路精準(zhǔn),適配 5X-50X 不同倍率需求。

  1. 干涉儀模塊:核心棱鏡為石英材質(zhì)(耐溫 - 50℃-200℃,折射率穩(wěn)定),分光膜采用 dielectric 涂層,分光比誤≤2%,保證干涉信號穩(wěn)定,支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。

  1. 光源組件:LED 燈珠為高亮度貼片式(單顆功率 1W,壽命 50000 小時),散熱外殼為鋁合金,帶鰭片結(jié)構(gòu)(間距 2mm),連續(xù)工作 4 小時溫度升幅≤15℃,避免亮度衰減。

(二)樣品臺用材
手動樣品臺臺面為航空級鋁合金(表面平整度≤0.005mm),有效承載面積 200mm×150mm,可放重量≤5kg 樣品。移動導(dǎo)軌為不銹鋼(GCr15),淬火后硬度 HRC60,配合 POM 螺母,傳動精度 0.001mm,手動調(diào)節(jié)順滑無卡頓。
自動樣品臺(選配)驅(qū)動電機為步進電機(步距角 1.8°),外殼為釹鐵硼永磁材料,體積小且扭矩足,X/Y 軸行程 100mm×80mm,定位精度 0.0005mm,適配批量樣品自動檢測。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)用材與部件特性

三、部件維護要點
  1. 光學(xué)部件:物鏡每次使用后用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭,禁止用普通紙巾;干涉儀棱鏡每季度用壓縮氣吹清灰,避免擦拭損傷鍍膜。

  1. 樣品臺:導(dǎo)軌每月涂專用潤滑脂(鋰基型),手動調(diào)節(jié)旋鈕定期檢查松緊,過松需緊固螺絲。

  1. 機身:外殼避免接觸有機溶劑(如酒精),防止涂層脫落;腳墊磨損后及時更換(原廠型號 ZGP-F01),保證設(shè)備水平。

通過科學(xué)用材,ZeGage Pro 在保證測量精度的同時,延長部件壽命,適配長期穩(wěn)定使用需求。


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