在精密檢測設(shè)備領(lǐng)域，用材品質(zhì)與性能穩(wěn)定性直接決定檢測數(shù)據(jù)的可靠性與設(shè)備的使用壽命。ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 從核心部件到外部結(jié)構(gòu)，均選用適配高精度檢測需求的優(yōu)質(zhì)材料，搭配成熟的光學(xué)與機(jī)械技術(shù)，為跨領(lǐng)域檢測提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)的支持，成為科研機(jī)構(gòu)與企業(yè)實驗室的可靠選擇。
從用材細(xì)節(jié)來看，ZeGage Pro 的核心光學(xué)部件采用高純度熔融石英玻璃。這種玻璃具備優(yōu)異的透光性，在可見光與近紅外波段的透光率超過 90%，能減少光線在傳播過程中的損耗，確保檢測時光學(xué)信號的準(zhǔn)確傳遞；同時，其熱膨脹系數(shù)低，在環(huán)境溫度變化時不易發(fā)生形變，避免因光學(xué)元件變形影響檢測精度。設(shè)備的鏡頭組采用多層增透膜技術(shù)，膜層材質(zhì)為氧化硅與氟化鎂的復(fù)合涂層，可有效降低光線反射，進(jìn)一步提升光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，讓樣品表面的微小輪廓細(xì)節(jié)清晰呈現(xiàn)。
機(jī)械結(jié)構(gòu)方面，ZeGage Pro 的檢測平臺底座選用鑄鐵材質(zhì)，鑄鐵具備良好的剛性與減震性能，能減少外部環(huán)境振動對檢測平臺的影響，確保掃描過程中平臺的穩(wěn)定性；平臺臺面為 304 不銹鋼，表面經(jīng)過精密研磨處理，平整度誤差控制在微米級別，可穩(wěn)定承載不同重量的樣品，同時不銹鋼材質(zhì)耐磨損、抗腐蝕，長期使用后仍能保持較好的表面狀態(tài)，減少臺面磨損對檢測結(jié)果的干擾。設(shè)備的平移臺驅(qū)動部件采用精密滾珠絲杠，絲杠材質(zhì)為高強(qiáng)度合金鋼，經(jīng)過熱處理強(qiáng)化，具備較高的硬度與耐磨性，配合伺服電機(jī)驅(qū)動，能實現(xiàn)微米級別的移動精度，確保檢測位置的準(zhǔn)確性。
性能穩(wěn)定性是 ZeGage Pro 的突出優(yōu)勢。設(shè)備搭載閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)，在掃描過程中，實時監(jiān)測平移臺的位置與光學(xué)信號的強(qiáng)度，若出現(xiàn)微小偏差，系統(tǒng)會自動調(diào)整參數(shù)，確保檢測過程的穩(wěn)定性。例如在長時間連續(xù)檢測（如 8 小時批量檢測電子元件）時，設(shè)備的溫度漂移量較小，垂直檢測精度的變化幅度控制在納米級別，保證同批次樣品檢測數(shù)據(jù)的一致性。此外，設(shè)備具備環(huán)境適應(yīng)性，在溫度 15℃-30℃、濕度 30%-70% 的常規(guī)實驗室環(huán)境下，無需額外恒溫恒濕設(shè)備，即可正常工作，減少對使用環(huán)境的限制。
在跨領(lǐng)域應(yīng)用中，ZeGage Pro 的表現(xiàn)尤為全面。在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，可用于檢測透鏡的面型誤差與曲率半徑。操作時，將透鏡固定在專用光學(xué)夾具上，確保透鏡光軸與檢測系統(tǒng)軸線對齊；打開 MXP 軟件，選擇 “光學(xué)元件檢測" 模塊，設(shè)置掃描范圍為透鏡有效口徑（如 20mm）、掃描分辨率為 0.5μm；啟動掃描后，設(shè)備會自動采集透鏡表面的光學(xué)數(shù)據(jù)，軟件通過算法計算出面型誤差 PV 值與曲率半徑，生成 3D 面型圖，若誤差超出設(shè)定范圍（如 PV 值＞500nm），軟件會自動標(biāo)記偏差區(qū)域，幫助操作人員調(diào)整加工工藝。
在汽車零部件檢測領(lǐng)域，ZeGage Pro 可用于檢測發(fā)動機(jī)氣門的表面粗糙度與磨損程度。將氣門固定在旋轉(zhuǎn)式夾具上（確保檢測過程中氣門勻速轉(zhuǎn)動）；在軟件中設(shè)置 “圓柱面掃描" 模式，掃描路徑覆蓋氣門密封面與桿部；檢測完成后，軟件生成氣門表面的粗糙度參數(shù)（如 Ra、Rz）與磨損深度數(shù)據(jù)，若密封面出現(xiàn)磨損深度超過 10μm 的區(qū)域，會自動生成磨損分析報告，為氣門的質(zhì)量評估與更換提供依據(jù)。
ZYGO ZeGage Pro 用材與性能相關(guān)參數(shù)表：
無論是光學(xué)元件的高精度面型檢測，還是汽車零部件的表面質(zhì)量評估，ZYGO ZeGage Pro 都能憑借優(yōu)質(zhì)的用材與穩(wěn)定的性能，提供準(zhǔn)確、可靠的檢測數(shù)據(jù)，幫助用戶把控產(chǎn)品質(zhì)量，推動研發(fā)與生產(chǎn)工作的高效開展。
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