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ZYGO ZeGage Pro:3D 輪廓檢測新選擇

產(chǎn)品簡介

ZYGO ZeGage Pro:3D 輪廓檢測新選擇
在精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)元件等領(lǐng)域,對物體表面微觀形貌的精準檢測是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。ZYGO 推出的 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro,憑借優(yōu)良的光學(xué)檢測技術(shù)、穩(wěn)定的性能及豐富的功能,為各行業(yè)提供高效的表面輪廓檢測方案,助力用戶深入了解樣品表面的三維特征。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-01-06
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:245
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ZYGO ZeGage Pro:3D 輪廓檢測新選擇

在精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)元件等領(lǐng)域,對物體表面微觀形貌的精準檢測是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。ZYGO 推出的 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro,憑借優(yōu)良的光學(xué)檢測技術(shù)、穩(wěn)定的性能及豐富的功能,為各行業(yè)提供高效的表面輪廓檢測方案,助力用戶深入了解樣品表面的三維特征。
從產(chǎn)品細節(jié)來看,ZYGO ZeGage Pro 采用緊湊式機身設(shè)計,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)固,占地面積小,可靈活放置在實驗室或生產(chǎn)車間的檢測區(qū)域。設(shè)備搭載高分辨率成像系統(tǒng),核心光學(xué)部件選用高透光率光學(xué)玻璃,配合精密的光學(xué)鏡頭組,能有效減少光線折射與散射帶來的干擾,確保檢測圖像的清晰度。檢測平臺采用高精度平移臺,臺面材質(zhì)為耐磨不銹鋼,表面經(jīng)過特殊處理,平整度高,可穩(wěn)定放置不同規(guī)格的樣品,同時平移臺的移動精度高,能精準將樣品送至檢測區(qū)域,保證檢測位置的準確性。
產(chǎn)品性能方面,ZYGO ZeGage Pro 具備出色的檢測分辨率,垂直分辨率可達納米級別,能清晰捕捉樣品表面微小的高低起伏變化,如微米級的劃痕、凸起或凹陷。設(shè)備的檢測范圍可根據(jù)需求調(diào)整,最小檢測區(qū)域可至幾微米,最大檢測區(qū)域能覆蓋數(shù)毫米,滿足從小尺寸精密元件到較大樣品表面的檢測需求。檢測速度較快,完成一次常規(guī)樣品的 3D 輪廓掃描僅需幾分鐘,大幅縮短檢測周期,提高檢測效率。此外,設(shè)備還具備良好的重復(fù)性,對同一樣品多次檢測,結(jié)果偏差較小,確保檢測數(shù)據(jù)的可靠性。
用材上,除核心光學(xué)部件采用高透光率光學(xué)玻璃外,設(shè)備的機身框架選用高強度鋁合金材料,這種材料不僅重量輕,還具備良好的抗振動性能,能減少外部環(huán)境振動對檢測結(jié)果的影響。檢測平臺的不銹鋼臺面耐磨損、抗腐蝕,長期使用后仍能保持較好的平整度,延長設(shè)備使用壽命。設(shè)備內(nèi)部的電子元件均選用優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品,確保電路系統(tǒng)的穩(wěn)定運行,降低設(shè)備故障概率。
ZYGO ZeGage Pro 的用途廣泛。在半導(dǎo)體行業(yè),可用于檢測芯片表面的平整度、線路的高度差及缺陷,確保芯片的性能與可靠性;在光學(xué)元件制造領(lǐng)域,能檢測透鏡、棱鏡等表面的曲率、面型誤差,保障光學(xué)元件的成像質(zhì)量;在精密模具行業(yè),可對模具表面的紋理、尺寸精度進行檢測,為模具的加工優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持;在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域,能檢測醫(yī)療植入體表面的粗糙度,確保其生物相容性與使用安全性。
使用說明方面,以檢測光學(xué)透鏡表面面型誤差為例,操作步驟如下:首先,將待檢測的光學(xué)透鏡放置在檢測平臺的中心位置,調(diào)整樣品固定裝置,確保透鏡穩(wěn)定且不產(chǎn)生變形;然后,打開設(shè)備配套的檢測軟件,在軟件界面中設(shè)置檢測參數(shù),如檢測區(qū)域大小、掃描分辨率、檢測速度等,根據(jù)透鏡的尺寸與檢測需求,選擇合適的參數(shù);接著,啟動檢測程序,設(shè)備會自動控制平移臺移動,帶動樣品進行掃描,同時光學(xué)系統(tǒng)采集樣品表面的光學(xué)信號,并將其轉(zhuǎn)化為三維輪廓數(shù)據(jù);檢測完成后,軟件會自動生成 3D 輪廓圖像及相關(guān)檢測報告,報告中包含表面粗糙度、面型誤差、曲率半徑等關(guān)鍵參數(shù),用戶可根據(jù)報告分析透鏡表面的質(zhì)量狀況,判斷是否符合生產(chǎn)標(biāo)準;最后,關(guān)閉檢測程序,取下樣品,清潔檢測平臺,為下一次檢測做好準備。
ZYGO ZeGage Pro 參數(shù)表:
項目
詳情
垂直分辨率
納米級別
檢測范圍
最小幾微米至最大數(shù)毫米(可調(diào)整)
檢測速度
常規(guī)樣品 3D 輪廓掃描約幾分鐘 / 次
檢測平臺
不銹鋼臺面,高精度平移臺
光學(xué)部件
高透光率光學(xué)玻璃,精密鏡頭組
機身材質(zhì)
高強度鋁合金
軟件功能
數(shù)據(jù)采集、3D 圖像生成、檢測報告導(dǎo)出、參數(shù)分析
電源要求
220V AC,50/60Hz
設(shè)備尺寸
約 600mm×500mm×800mm(長 × 寬 × 高,僅供參考)
ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 以其精準的檢測能力、穩(wěn)定的性能、優(yōu)質(zhì)的用材及便捷的操作,成為各行業(yè)表面輪廓檢測的可靠工具,為產(chǎn)品質(zhì)量控制與研發(fā)創(chuàng)新提供有力的數(shù)據(jù)支持。

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