在半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件檢測及材料科學(xué)領(lǐng)域，表面形貌的納米級測量是控制產(chǎn)品性能的核心環(huán)節(jié)。美國ZYGO公司推出的ZeGage、NewView 9000、NexView NX2三大系列白光干涉光學(xué)輪廓儀，憑借非接觸式測量技術(shù)、抗振設(shè)計(jì)與智能化軟件，成為工業(yè)與科研用戶信賴的“微觀形貌分析工具"。ZYGO白光干涉輪廓儀微觀世界的“光學(xué)鑰匙"

一、核心性能：從納米到亞埃級的跨尺度測量

ZYGO白光干涉輪廓儀突破傳統(tǒng)接觸式設(shè)備的局限，實(shí)現(xiàn)表面形貌的高效、無損檢測：

• 縱向分辨率：ZeGage系列可達(dá)0.15nm，NewView 9000與NexView NX2更優(yōu)至0.06nm，滿足超光滑表面（如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鍍膜）的形貌分析需求。

• 掃描速度：≥110μm/s的快速掃描能力，結(jié)合SureScan™抗振技術(shù)，可在生產(chǎn)車間環(huán)境中直接使用，無需額外隔振平臺。

• 測量范圍：縱向掃描范圍0-8mm，支持3mm×3mm大視場拼接測量，覆蓋從微小元件到大型樣品的檢測需求。

• 重復(fù)性：表面形貌重復(fù)性（STR）低至0.06nm（NexView NX2），臺階高度測量重復(fù)性≤0.08%（1σ），確保數(shù)據(jù)可靠性。

二、創(chuàng)新用材與模塊化設(shè)計(jì)

• 光學(xué)系統(tǒng)：采用分立龍門架構(gòu)與高數(shù)值孔徑物鏡（2.5×-100×可選），支持孔徑光闌與視場光闌調(diào)節(jié)，優(yōu)化成像質(zhì)量以適應(yīng)不同表面紋理。

• 樣品臺：提供3軸（Z/Tip/Tilt）至5軸（Z/XY平移/Tip/Tilt）自動(dòng)調(diào)整選項(xiàng)，NexView NX2標(biāo)配5軸全自動(dòng)樣品臺，支持編程自動(dòng)化測量流程。

• 抗震技術(shù)：SureScan™算法通過動(dòng)態(tài)采樣補(bǔ)償環(huán)境振動(dòng)，結(jié)合大功率LED光源與低噪聲傳感器，降低高精度測量時(shí)的噪聲干擾。

• 軟件功能：Mx™交互式控制軟件集成SmartSetup™智能參數(shù)配置、Part Find自動(dòng)對焦、FDA空間頻率域分析等功能，簡化操作流程并減少人為誤差。

三、型號對比與選型指南

四、關(guān)鍵參數(shù)表

五、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造：

• 檢測減薄后晶圓表面粗糙度（Ra值），優(yōu)化化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）工藝參數(shù)。

• 測量鐳射槽深寬尺寸與鍍膜臺階高度，控制光刻膠涂覆均勻性。

2. 光學(xué)元件檢測：

• 分析透鏡表面面形誤差（PV值），評估光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量。

• 檢測鍍膜表面缺陷密度，指導(dǎo)鍍膜工藝改進(jìn)。

3. 材料科學(xué)研究：

• 表征納米材料表面晶粒尺寸與分布，研究摩擦磨損機(jī)制。

• 測量透明薄膜厚度與表面形貌，分析薄膜應(yīng)力狀態(tài)。

六、操作指南：四步實(shí)現(xiàn)高效檢測

1. 樣品裝載

• 將樣品固定于T型槽或真空吸附樣品臺，通過XY平移臺調(diào)整至測量區(qū)域下方。

• 啟動(dòng)自動(dòng)對焦功能（Part Find），系統(tǒng)自動(dòng)定位樣品表面并優(yōu)化干涉條紋對比度。

2. 參數(shù)配置

• 在Mx™軟件中選擇測量模式（如粗糙度、臺階高度或3D形貌）。

• 啟用SmartSetup™智能參數(shù)配置，軟件根據(jù)樣品反射率與表面紋理自動(dòng)推薦物鏡、光闌與掃描范圍。

3. 數(shù)據(jù)采集與分析

• 啟動(dòng)測量，系統(tǒng)通過SureScan™抗振算法補(bǔ)償環(huán)境振動(dòng)，完成表面形貌掃描。

• 利用FDA空間頻率域分析功能，提取表面粗糙度（Sa/Sq）、波紋度（Wa/Wq）等參數(shù)。

4. 報(bào)告生成與導(dǎo)出

• 軟件自動(dòng)生成包含2D輪廓圖、3D形貌圖與參數(shù)表格的檢測報(bào)告。

• 支持導(dǎo)出ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)格式數(shù)據(jù)，兼容第三方分析軟件（如MATLAB、Python）。

• ZYGO白光干涉輪廓儀微觀世界的“光學(xué)鑰匙"