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產(chǎn)品中心激光干涉儀Zygo激光干涉儀VeriFire美國ZYGO共聚焦激光干涉儀
產(chǎn)品簡介
隨著半導(dǎo)體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費(fèi)電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對計(jì)量應(yīng)用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴(yán)苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對這些高難度場景時(shí)，往往在噪聲控制、對焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計(jì)量任務(wù)提供的解決方案。
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飛點(diǎn)模塊（Flying Spot Module）：這一模塊是 Qualifire 的核心創(chuàng)新之一，采用了全新的環(huán)紋抑制技術(shù)。該技術(shù)巧妙地結(jié)合了 ZYGO 的 RoF（Ring of Fire）技術(shù)和環(huán)紋抑制功能（CARS）技術(shù)，形成了一套強(qiáng)大的降噪解決方案。它能夠精準(zhǔn)消除腔體中的相干空間噪點(diǎn)以及令人困擾的相干牛眼紋，為高精度測量營造了高信噪比的環(huán)境，極大地提升了測量數(shù)據(jù)的可靠性。
平面腔自動(dòng)對焦功能：摒棄了傳統(tǒng)的手動(dòng)或基于強(qiáng)度的焦點(diǎn)調(diào)整方式，采用基于相位的自動(dòng)對焦方法。這種方法無需額外的調(diào)整工具，就能快速且精確地實(shí)現(xiàn)對焦，不僅減少了人為操作帶來的誤差，還顯著提高了測量的效率，讓操作人員能夠更專注于測量本身。
穩(wěn)定變焦功能：在從 1 倍到 3 倍的變焦過程中，Qualifire 實(shí)現(xiàn)了焦點(diǎn)和圖像中心不發(fā)生偏移的突破。這一特性不僅改善了儀器傳遞函數(shù)（ITF），使得中高頻率特征的量化變得更加容易，還保證了在不同變焦倍數(shù)下測量數(shù)據(jù)的連貫性和一致性，為多維度分析提供了可靠的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。
智能附件功能：儀器能夠自動(dòng)識別安裝的 “智能附件"，并根據(jù)附件的特性自動(dòng)設(shè)置橫向分辨率。對于智能球面參考鏡 TS，它還能自動(dòng)設(shè)置工件的曲率半徑，并精準(zhǔn)減去系統(tǒng)誤差，進(jìn)一步提升了計(jì)量能力。這種智能化的設(shè)計(jì)減少了人工設(shè)置的繁瑣步驟，降低了操作失誤的可能性。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化：部分型號的重量不到 50 磅（23 千克），緊湊輕便的設(shè)計(jì)使其便于移動(dòng)和安裝，能適應(yīng)不同的工作場地。內(nèi)置移相器（PMR）的設(shè)計(jì)，有效降低了移動(dòng)時(shí)對內(nèi)部 PZT 組件的損壞風(fēng)險(xiǎn)，延長了儀器的使用壽命。同時(shí)，光學(xué)支腳采用密封設(shè)計(jì)，減少了灰塵積聚，降低了維護(hù)成本，保證了儀器長期穩(wěn)定的運(yùn)行。
半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域：在半導(dǎo)體芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，對光學(xué)元件的精度要求。Qualifire 憑借其高精度的測量能力和強(qiáng)大的降噪功能，能夠精準(zhǔn)測量光刻鏡頭等關(guān)鍵光學(xué)元件的表面形狀和波前誤差，為光刻設(shè)備的高性能運(yùn)行提供有力保障，進(jìn)而提高芯片的制造精度和良品率。
星載成像系統(tǒng)制造：星載成像系統(tǒng)需要在的太空環(huán)境下工作，對光學(xué)元件的穩(wěn)定性和精度要求苛刻。Qualifire 的穩(wěn)定變焦功能和智能附件功能，能夠滿足對星載成像系統(tǒng)光學(xué)元件的高精度測量需求，確保其在太空環(huán)境中正常工作。
國防光學(xué)設(shè)備生產(chǎn)：國防領(lǐng)域的光學(xué)設(shè)備，如偵察衛(wèi)星的光學(xué)鏡頭、的制導(dǎo)光學(xué)系統(tǒng)等，對精度和可靠性要求。Qualifire 能夠?qū)@些光學(xué)設(shè)備的核心元件進(jìn)行嚴(yán)格檢測，保障其在復(fù)雜的戰(zhàn)場環(huán)境中發(fā)揮穩(wěn)定的性能。
消費(fèi)電子研發(fā)：在手機(jī)攝像頭、虛擬現(xiàn)實(shí)設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)中，Qualifire 可以測量光學(xué)鏡片的各項(xiàng)參數(shù)，幫助研發(fā)人員優(yōu)化光學(xué)設(shè)計(jì)，提升產(chǎn)品的光學(xué)性能和用戶體驗(yàn)。美國ZYGO激光干涉儀
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