西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀：高精度表面測量的革命性工具

在現(xiàn)代工業(yè)制造、科研實驗和質量控制領域，高精度的表面形貌測量至關重要。無論是半導體、光學元件、精密加工，還是生物醫(yī)學和材料科學研究，都需要高分辨率、高重復性的測量手段。西班牙Sensofar公司推出的共聚焦白光干涉儀（Confocal White Light Interferometer）憑借其超高精度、快速測量和多功能性，成為全球表面測量技術的選擇。Sensofar高精度表面測量的革命性工具

Sensofar高精度表面測量的革命性工具

（1）共聚焦技術與白光干涉的結合

Sensofar的共聚焦白光干涉儀結合了共聚焦顯微鏡和白光干涉技術的優(yōu)勢，能夠在不同應用場景下實現(xiàn)測量：

• 共聚焦模式：適用于高反射率或透明材料的表面測量，可提供高分辨率3D形貌數(shù)據(jù)。

• 白光干涉模式：適合超光滑表面（如光學鏡片、晶圓）的納米級粗糙度測量。

• 混合模式：可智能切換，適應不同材料特性，確保測量結果的準確性。

（2）超高分辨率與測量速度

• 垂直分辨率：可達0.1 nm，適用于納米級表面分析。

• 橫向分辨率：光學系統(tǒng)優(yōu)化，可達到衍射極限，確保微小結構的清晰成像。

• 高速掃描：采用優(yōu)良的壓電陶瓷驅動技術，單次測量僅需數(shù)秒，大幅提升檢測效率。

（3）智能軟件與自動化分析

Sensofar配備SensoMAP專業(yè)分析軟件，支持：

• 3D形貌重建

• 粗糙度（Ra, Rz, Sa, Sz等參數(shù)）自動計算

• 臺階高度、薄膜厚度測量

• 批量自動化檢測，適合生產(chǎn)線集成

2. 主要應用領域

（1）半導體與微電子制造

• 晶圓檢測：測量刻蝕深度、CMP（化學機械拋光）后的表面平整度。

• MEMS器件：分析微機電系統(tǒng)的3D結構，確保工藝一致性。

（2）光學元件與精密加工

• 透鏡、反射鏡：檢測表面粗糙度，確保光學性能。

• 超精密模具：測量刀具磨損、加工紋理，優(yōu)化制造工藝。

（3）生物醫(yī)學與材料科學

• 生物材料表面：如人工關節(jié)、牙科植入物的粗糙度分析。

• 涂層與薄膜：測量厚度、均勻性，評估材料性能。

（4）汽車與航空航天

• 發(fā)動機部件：檢測活塞、渦輪葉片的表面質量。

• 復合材料：分析纖維增強材料的微觀結構。

3. 為什么選擇Sensofar共聚焦白光干涉儀？

（1）技術水平

Sensofar是光學3D表面測量領域的，其設備廣泛應用于ASML、蔡司、三星等優(yōu)良企業(yè)。

（2）模塊化設計，靈活適配不同需求

用戶可根據(jù)需求選擇：

• 不同放大倍率的物鏡（2.5X~150X）

• 電動載物臺，實現(xiàn)自動化測量

• 環(huán)境隔振系統(tǒng)，確保實驗室級精度

（3）售后服務與技術支持

Sensofar在全球設有技術支持中心，提供：

• 設備安裝與培訓

• 定期校準與維護

• 軟件升級與定制化開發(fā)

4. 成功案例

案例1：某國際半導體公司提升晶圓檢測效率

該公司采用Sensofar S neox系列干涉儀，將晶圓表面檢測速度提升300%，同時減少人工誤差，良品率提高15%。

案例2：光學鏡頭制造商優(yōu)化拋光工藝

通過Sensofar設備的實時監(jiān)測，該企業(yè)成功優(yōu)化CMP工藝，將鏡頭表面粗糙度控制在0.5 nm以下，達到相機鏡頭的標準。

5. 未來展望

隨著智能制造、納米技術的快速發(fā)展，高精度表面測量的需求將持續(xù)增長。Sensofar不斷推進技術創(chuàng)新，未來將整合AI智能分析、云端數(shù)據(jù)管理等功能，為用戶提供更智能、高效的測量解決方案。

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀憑借高精度、高速度、多功能性，已成為工業(yè)檢測和科學研究的理想工具。無論是半導體、光學、生物醫(yī)學，還是精密制造行業(yè)，它都能提供可靠的測量數(shù)據(jù)，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質量、優(yōu)化生產(chǎn)工藝。

如果您正在尋找高精度表面測量解決方案，

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀無疑是您的選擇！