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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 20258-21
    非接觸式粗糙度測量儀校準規(guī)范,精度保障與標準化實施要點

    非接觸式粗糙度測量儀憑借激光、光學干涉等無損檢測技術(shù),已成為精密制造領(lǐng)域表面質(zhì)量評估的核心工具。然而,其測量結(jié)果易受環(huán)境干擾、設(shè)備老化及操作誤差影響,因此嚴格遵循校準規(guī)范是確保數(shù)據(jù)可靠性的關(guān)鍵。本文從校準環(huán)境、標準器具、操作流程及記錄追溯四方面,解析非接觸式粗糙度測量儀校準的核心要求。一、校準環(huán)境:控制干擾因子,奠定精度基礎(chǔ)校準環(huán)境需滿足溫度、濕度、振動及潔凈度的嚴格條件。通常要求溫度穩(wěn)定在(20±2)℃,濕度控制在40%-65%RH,以減少熱脹冷縮和靜電對光學...

  • 20258-18
    徠卡偏光顯微鏡開啟微觀晶格的極光之窗,解碼物質(zhì)結(jié)構(gòu)的隱形密碼

    在納米材料、地質(zhì)礦物、高分子復合材料等前沿領(lǐng)域,物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)往往決定其宏觀性能。然而,傳統(tǒng)光學顯微鏡在面對各向異性材料(如晶體、纖維、液晶)時,常因光線折射率差異導致圖像模糊,難以揭示其內(nèi)部有序排列的“隱形骨架”。徠卡偏光顯微鏡憑借偏振光干涉技術(shù)與高精度光學設(shè)計,成為探索微觀晶格世界的“極光之窗”,為材料科學、地質(zhì)學、生物醫(yī)學等領(lǐng)域提供了一把破解物質(zhì)結(jié)構(gòu)密碼的“金鑰匙”。一、偏振光技術(shù):讓“隱形晶格”顯形的光學魔法普通顯微鏡的光線為非偏振光,在通過各向異性材料時會發(fā)生雙折射...

  • 20258-14
    電子束光刻技術(shù)新突破:鄰近效應優(yōu)化讓微納加工更精準?

    一、鄰近效應:微納加工的“隱形殺手當電子束穿透光刻膠時,會與材料發(fā)生復雜相互作用:一部分電子前向散射,另一部分被襯底反彈形成背散射電子。這些“不聽話”的電子會擴散到預設(shè)圖形區(qū)域之外,就像墨水在宣紙上暈染開一般,造成中心區(qū)域欠曝、邊緣過曝的現(xiàn)象。從澤攸科技的實驗數(shù)據(jù)可見(圖2)未校正時,同一芯片上不同區(qū)域的線寬差異可達30%以上。二、劑量校正技術(shù):給電子束裝上“導航系統(tǒng)”傳統(tǒng)解決方式如同“盲人摸象”,而澤攸科技采用的智能劑量校正方案實現(xiàn)了三大創(chuàng)新:1.雙高斯建模:通過α(前散射...

  • 20258-13
    RMC半薄切片機以納米級精度解鎖材料微觀世界的金鑰匙

    在材料科學、生物醫(yī)學及半導體制造等領(lǐng)域,對樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的精準觀測是推動技術(shù)突破的核心環(huán)節(jié)。然而,傳統(tǒng)切片機常因振動干擾、厚度偏差等問題,導致樣品邊緣碎裂、層間剝離或成像模糊,嚴重制約研究效率。RMC半薄切片機憑借其亞微米級精度控制與智能化操作體系,成為制備高質(zhì)量薄片樣品的革命性工具,為透射電鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)等高級分析技術(shù)提供了可靠保障。1.動態(tài)振動補償技術(shù):突破厚度極限的“穩(wěn)定器”傳統(tǒng)切片機在高速切削時,刀片與樣品間的微小振動會引發(fā)“厚度波動效應”,導致薄...

  • 20258-13
    ZYGO共聚焦干涉儀如何重塑工業(yè)計量標準

    一、ZYGO共聚焦干涉儀技術(shù)突破:從實驗室精度到工業(yè)環(huán)境適應性抗振與動態(tài)測量能力傳統(tǒng)干涉儀對環(huán)境振動極為敏感,需在恒溫、隔振實驗室中運行。ZYGO通過QPSI™(快速相位偏移干涉)技術(shù),結(jié)合波長調(diào)制采樣方式,使共聚焦干涉儀在振動環(huán)境下仍能保持高精度測量。例如,其300mm立式球面干涉儀(VWS)在生產(chǎn)環(huán)境中實現(xiàn)RMS波前重復性優(yōu)于1納米,曲率半徑測試不確定度達百納米級,突破了實驗室級儀器對環(huán)境的嚴苛依賴。大口徑與復雜曲面測量針對工業(yè)大尺寸元件(如光刻物鏡透鏡),Z...

  • 20258-11
    電子束光刻:納米制造領(lǐng)域的 “隱形引擎”

    一為什么EUV離不開EBL?很多人會疑惑:既然EUV已經(jīng)能高效量產(chǎn)先進芯片,為什么還要投入精力研發(fā)電子束光刻?答案藏在兩者的“分工”里。EUV追求的是“批量生產(chǎn)的經(jīng)濟性”,就像印刷廠的大型設(shè)備,能快速復制已有的設(shè)計;而EBL解決的是“從0到1的可行性”,如同作家的鋼筆,負責創(chuàng)造全新的“故事”沒有EBL,EUV的掩模版無從談起——這種高精度的“模具”是芯片量產(chǎn)的基礎(chǔ),必須依靠電子束光刻的納米級分辨率(可達2nm)來制作。更重要的是,在3nm以下制程研發(fā)、量子計算、二維材料等前沿...

  • 20258-6
    白光干涉共聚焦顯微鏡是洞察微觀世界的精密之眼

    在科技日新月異的今天,白光干涉共聚焦顯微鏡作為光學顯微技術(shù)領(lǐng)域的一顆璀璨明珠,正以其特殊的成像原理和杰出的性能,推動著微觀世界探索的新風潮。它不僅極大地提升了我們對材料表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等微觀特性的認知能力,還在半導體、生物醫(yī)學、材料科學等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應用潛力。白光干涉共聚焦顯微鏡的核心優(yōu)勢在于其結(jié)合了白光干涉與共聚焦掃描兩大技術(shù)。白光干涉技術(shù)利用光波的干涉原理,通過測量樣品表面反射光與參考光之間的光程差,精確重構(gòu)出樣品表面的三維形貌。這種技術(shù)具有非接觸、無損...

  • 20258-5
    澤攸科技 ZEM 系列臺式掃描電鏡:解碼微橡膠污染的微觀利器

    為什么微觀觀察是污染研究的“第一道門”?微橡膠顆粒的環(huán)境危害,與其微觀形貌、表面特性、粒徑分布密切相關(guān):粗糙的表面更容易吸附重金屬和有機污染物,細小的粒徑則能穿透生物屏障進入細胞。但這些顆粒直徑多在1-500微米之間,遠超光學顯微鏡的分辨極限,傳統(tǒng)檢測手段難以捕捉關(guān)鍵細節(jié)。澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡的出現(xiàn),為研究者打開了微觀觀察的“快速通道”。無需復雜樣品制備,即可實現(xiàn)納米級分辨率成像,讓微橡膠顆粒的真實面貌清晰呈現(xiàn)——這正是青島科技大學等團隊在TWP與LAP毒性對比研究...

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