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技術文章
TECHNICAL ARTICLES在半導體制造工藝快速發(fā)展的今天，精密三維測量技術正成為推動行業(yè)進步的關鍵力量。近日，一場以"半導體制造中的精密三維測量技術"為主題的網絡研討會，深入探討了該領域的突破與應用前景。第三代半導體材料的精密測量挑戰(zhàn)隨著金剛石、碳化硅和鈣鈦礦等第三代半導體材料的廣泛應用，晶圓制造和材料表征面臨著新的技術要求。通過干涉測量技術結合智能算法，研究人員能夠精準測量具有微米級顆粒和納米級特征的復雜形貌，為新材料研發(fā)提供可靠支撐。異構集成技術的創(chuàng)新突破異構集成技術通過將微透鏡、共封裝光學元件和...
Sensofar白光干涉儀作為精密光學測量設備，使用中易受光學部件、機械結構、軟件系統(tǒng)及環(huán)境等因素影響出現故障。以下是其常見問題、成因及對應排查解決辦法，結合其Sneox等主流系列的特性整理而來：光源相關問題常見故障：光源亮度不穩(wěn)定、不亮，或4色LED光源(紅、綠、藍、白)某一色無法點亮，影響干涉條紋形成。排查解決：先檢查電源連接是否牢固，開關是否正常，若電源無問題，再查看光源連接線有無破損、接觸不良；其采用光纖耦合相關的光源結構，需重點檢查光纖是否折損、脫落；LED光源雖壽...
微透鏡陣列作為光學領域的核心元件，由數百至數千個微米級透鏡單元組成，廣泛應用于成像系統(tǒng)、光通信、傳感器等領域。其表面微觀3D輪廓參數（如曲率半徑、面型誤差、中心厚度等）直接影響光學性能，而白光干涉儀Sneox憑借其非接觸、高精度、三維成像的獨特優(yōu)勢，成為微透鏡陣列表征的“黃金標準”。一、亞納米級精度：解鎖微觀形貌的“密碼”微透鏡陣列的測量需滿足三大核心需求：高精度三維參數提取、大面積快速檢測、非接觸無損測量。傳統(tǒng)探針式輪廓儀雖精度較高，但接觸式測量易劃傷表面；激光共聚焦顯微鏡...
在半導體、精密光學等制造領域，表面測量常面臨“精度”與“范圍”的兩難——白光干涉（CSI）能掃數百微米卻難及納米級精度，相移干涉（PSI）達亞納米精度卻量程受限。而Sensofar的ePSI技術，用創(chuàng)新融合破解了這一難題。ePSI的核心，是讓CSI與PSI“強強聯手”：依托CSI實現數百微米的寬范圍掃描，覆蓋宏觀輪廓到中觀結構；借助PSI達成0.1nm的亞納米級分辨率，精準捕捉微小劃痕、薄膜厚度差異。無需頻繁換設備、調參數，一次測量就能兼顧全局與細節(jié)。這一技術已在關鍵領域落地...
在精密測量與科研領域，軟件工具的性能直接決定了工作流程的效率與數據精度。2025年10月，Sensofar針對旗下四款核心軟件推出重磅更新，從分析能力拓展、運行速度提升到測量精度優(yōu)化，解決用戶在數據采集、處理與成像中的痛點，助力科研與工業(yè)檢測工作更高效、更強大！一、SensoPRO3.5.5：分析能力再升級，顆粒數據處理更便捷作為數據分析的核心工具，SensoPRO3.5.5此次更新聚焦“能力擴展”與“效率提升”，新增四大實用功能，覆蓋多場景測量需求：1新增四大分析插件：引入...
在材料科學的微觀世界探索中，在生物學的細胞結構研究里，在醫(yī)學的病理分析以及工業(yè)的質量檢測領域，掃描電子顯微鏡（SEM）始終扮演著重要的角色。自20世紀30年代誕生以來，這項技術不斷革新，從最初僅能在實驗室使用的精密設備，逐漸發(fā)展成為覆蓋多個科學領域的重要工具。如今，掃描電鏡主要分為臺式和落地式兩大類，面對這兩種選擇，不少科研人員和企業(yè)采購者都會陷入糾結。今天，我們就從多個關鍵維度進行對比，為你選出合適的掃描電鏡提供參考。臺式掃描電鏡與落地式掃描電鏡探測器：滿足基礎需求vs適配...
在光學玻璃、電子顯示屏、精密儀器制造等領域，玻璃表面質量直接影響產品的光學性能和使用壽命。Sensofar共聚焦白光干涉儀作為先進的三維表面形貌測量設備，憑借其獨特的多技術融合優(yōu)勢，為玻璃表面質量檢測提供了高精度、非接觸式的解決方案。一、核心技術優(yōu)勢Sensofar設備創(chuàng)新性地整合了共聚焦顯微鏡、白光干涉儀和相位差干涉三大技術，通過智能軟件實現無縫切換：1.白光干涉模式：針對玻璃等光滑表面（如光學鏡片、手機蓋板），提供納米級垂直分辨率，可精確測量表面粗糙度Ra值至0.1nm級...
在微觀世界的探索中，人類始終面臨一個基本的物理屏障——衍射極限。這個由波動性質決定的限制，如同無形之墻，約束了我們觀察和操縱微小物體的能力。但科學的發(fā)展史正是一部不斷突破極限的史詩，本文將帶您從物理直覺入手，淺析衍射極限的奧秘，對比光與電子的表現，并展望超分辨率技術的未來。衍射極限：波動世界的天然邊界想象用聲波探測一根細針：如果針遠粗于波長，聲波會形成清晰回聲；但當針細至波長量級，聲波將繞過它繼續(xù)傳播，仿佛針不存在一般。這就是衍射現象的核心體現。光作為電磁波，在通過透鏡成像時...