ZYGO 實(shí)驗(yàn)室比對(duì)與能力驗(yàn)證

1. 實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的一致性（重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性）。

   
   

2. 實(shí)驗(yàn)室之間的一致性。

   
   

3. 是否存在系統(tǒng)偏差（如校準(zhǔn)誤差、方法差異）。

   
   

4. 測(cè)量不確定度評(píng)估的合理性。

   
   

1. 使用有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（CRM）進(jìn)行內(nèi)部核查與外部比對(duì)：

   
   

• 內(nèi)部核查：定期使用經(jīng)過國家計(jì)量院溯源的臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣塊、粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊，在自家的ZeGage Pro上進(jìn)行測(cè)量。將測(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值及其不確定度范圍進(jìn)行比較，是監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)是否持續(xù)受控的最直接方法。

  
  

• 外部比對(duì)：多個(gè)實(shí)驗(yàn)室測(cè)量同一個(gè)有證標(biāo)準(zhǔn)樣塊，交換數(shù)據(jù)和分析報(bào)告。這可以驗(yàn)證各實(shí)驗(yàn)室的校準(zhǔn)鏈?zhǔn)欠裼行?，操作和?shù)據(jù)分析方法是否正確。

  
  

2. 參加guan方能力驗(yàn)證（PT）計(jì)劃：

   
   

• 由quan威機(jī)構(gòu)（如CNAS、APLAC、BAM等）組織，向參與實(shí)驗(yàn)室發(fā)放統(tǒng)一的測(cè)試樣品（通常是具有挑戰(zhàn)性的典型工件，如帶有特定粗糙度、臺(tái)階或缺陷的零件）。

  
  

• 實(shí)驗(yàn)室按照作業(yè)指導(dǎo)書，使用ZeGage Pro在規(guī)定時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量，并報(bào)告指定的參數(shù)（如Sa, Sz, 臺(tái)階高度等）。

  
  

• 組織方匯總所有結(jié)果，進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，給出每個(gè)參數(shù)的指定值（通常為中位值或穩(wěn)健平均值）和可接受范圍。實(shí)驗(yàn)室收到結(jié)果報(bào)告，可知自己的測(cè)量結(jié)果在全部參與者中的位置（Z比分?jǐn)?shù)），判斷是否“滿意"。

  
  

3. 組織或參與雙邊/多邊比對(duì)：

   
   

• 同一集團(tuán)內(nèi)不同地點(diǎn)的實(shí)驗(yàn)室，或合作關(guān)系緊密的實(shí)驗(yàn)室之間，可以自行組織比對(duì)。傳遞樣品可以是雙方都關(guān)心的產(chǎn)品工件。這種方式更靈活，針對(duì)性更強(qiáng)，有助于統(tǒng)一集團(tuán)內(nèi)部或供應(yīng)鏈上的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。

  
  

4. 方法比對(duì)：

   
   

• 在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，使用ZeGage Pro和另一臺(tái)不同原理的設(shè)備（如接觸式輪廓儀、AFM）測(cè)量同一樣品的同一位置。比較結(jié)果，可以深入理解不同技術(shù)的特點(diǎn)、差異和適用范圍，豐富測(cè)量經(jīng)驗(yàn)。

  
  

• 滿足認(rèn)證要求：ISO/IEC 17025等實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可標(biāo)準(zhǔn)明確要求實(shí)驗(yàn)室必須參加能力驗(yàn)證。

  
  

• 識(shí)別并糾正問題：如果比對(duì)結(jié)果不理想，可以追溯問題根源，是設(shè)備校準(zhǔn)、環(huán)境條件、樣品制備、操作手法還是數(shù)據(jù)分析的問題，從而采取糾正措施。

  
  

• 增強(qiáng)客戶信心：一份良好的能力驗(yàn)證結(jié)果報(bào)告，是向客戶證明實(shí)驗(yàn)室技術(shù)能力的有力證據(jù)。

  
  

• 統(tǒng)一測(cè)量尺度：促進(jìn)供應(yīng)鏈上下游或研發(fā)與生產(chǎn)部門之間對(duì)表面質(zhì)量參數(shù)理解的一致性。

  
  

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