ZYGO 從2D到3D表面評(píng)估的跨越

• 全場(chǎng)數(shù)據(jù)：不再只是單條線或一個(gè)圖像，而是整個(gè)區(qū)域的高度場(chǎng)?？梢杂^察表面紋理的分布、各向異性、缺陷的位置與集群情況。

  
  

• 真實(shí)三維形貌：可以直接觀察凹坑、凸起、劃痕、孔洞等特征的立體形態(tài)，而非其在二維平面上的投影。

  
  

• 三維粗糙度參數(shù)：可以計(jì)算ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中定義的一系列三維面積參數(shù)，如算術(shù)平均高度Sa、均方根高度Sq、偏斜度Ssk、峰度Sku等，這些參數(shù)比二維的Ra, Rq更能反映表面的統(tǒng)計(jì)特性。

  
  

• 空間與功能參數(shù)：可以計(jì)算紋理方向Str、自相關(guān)長(zhǎng)度Sal等空間參數(shù)，以及基于Abbott-Firestone曲線的功能參數(shù)，如核心粗糙度深度Sk、減小峰高Spk、減小谷深Svk、表面支承率Smr等。這些參數(shù)與表面的摩擦、潤(rùn)滑、密封、涂漆附著等性能直接相關(guān)。

  
  

• 體積與面積測(cè)量：可以直接計(jì)算磨損體積、材料損失量、孔隙體積、表面積增大比率等，這在磨損研究、涂層評(píng)估中ji具價(jià)值。

  
  

• 任意截面分析：可以在三維形貌圖上任意位置、任意方向截取無(wú)數(shù)條二維輪廓線進(jìn)行分析，而不jin限于固定的一條。

  
  

• 三維形貌運(yùn)算：可以進(jìn)行三維濾波（分離形狀、波紋度、粗糙度）、布爾運(yùn)算（與CAD模型比對(duì)）、形態(tài)學(xué)操作等。

  
  

• 缺陷的自動(dòng)識(shí)別與統(tǒng)計(jì)：基于三維形貌，可以更準(zhǔn)確地設(shè)置閾值來(lái)自動(dòng)識(shí)別顆粒、劃痕、凹坑，并統(tǒng)計(jì)其數(shù)量、尺寸、體積分布。

  
  

• 可視化與演示：三維形貌圖、等高線圖、偽彩色圖等可視化手段，使得表面狀態(tài)一目了然，便于溝通和演示。

  
  

• 評(píng)估一個(gè)拋光表面：2D輪廓儀可能給出一個(gè)良好的Ra值，但3D測(cè)量可能發(fā)現(xiàn)表面存在周期性的波紋（由Rsm參數(shù)或FFT分析揭示），這可能在光學(xué)應(yīng)用中造成散射。

  
  

• 分析一個(gè)磨損表面：2D方法只能估計(jì)線磨損深度，3D方法可以精確計(jì)算整個(gè)磨損區(qū)域的體積損失。

  
  

• 檢查一個(gè)噴涂表面：2D圖像無(wú)法判斷橘皮紋理的高度，3D測(cè)量可以量化橘皮的幅度和波長(zhǎng)。

  
  

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