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激光干涉儀
ZYGO光學輪廓儀
ZeGage ProZYGO 在半導體行業(yè)應用
產(chǎn)品簡介
ZYGO 在半導體行業(yè)應用半導體制造對工藝控制和缺陷檢測有嚴格要求。ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀以其高分辨率和非接觸測量能力,在晶圓表面檢測、薄膜測量、微結構表征等半導體相關領域提供測量支持。
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