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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀Sensofar白光干涉儀S neox的大視野測量能力
產(chǎn)品簡介
白光干涉儀S neox的大視野測量能力：無縫銜接宏觀與微觀的精密測量。通過自動拼接實現(xiàn)大視野全景掃描，一鍵切換高倍物鏡即可對局部缺陷進行納米級精細測量，全面提升質(zhì)檢效率與數(shù)據(jù)分析深度。
白光干涉儀S neox的大視野測量能力
在質(zhì)量控制和失效分析中，往往需要在宏觀和微觀尺度上同時對樣品進行考察。例如，需要評估一個大型光學(xué)元件的面形精度，同時又要檢測其局部區(qū)域的微小劃痕或瑕疵。這就要求測量設(shè)備既具備“俯瞰全局"的大視野掃描能力，又擁有“明察秋毫"的高倍放大細節(jié)測量功能。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過其精密的機械平臺、光學(xué)系統(tǒng)和智能軟件，實現(xiàn)了從宏觀到微觀的無縫銜接測量。
大視野測量的首要挑戰(zhàn)是如何突破單次視場的限制。S neox通過“圖像拼接"技術(shù)來解決這一問題。儀器驅(qū)動電動樣品臺或掃描鏡，按照預(yù)設(shè)的網(wǎng)格路徑移動，系統(tǒng)自動采集相鄰的一系列圖像和三維數(shù)據(jù)。隨后，利用軟件的高精度拼接算法，將這些有重疊區(qū)域的數(shù)據(jù)塊無縫拼接成一幅完整的、高分辨率的大面積三維形貌圖。這個過程可以是全自動的，用戶只需定義拼接的行數(shù)和列數(shù)，或者直接設(shè)定需要覆蓋的矩形區(qū)域即可。
白光干涉儀S neox的大視野測量能力
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