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白光干涉儀S neox應(yīng)對復(fù)雜表面的策略

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox應(yīng)對復(fù)雜表面的策略:在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和精密制造等領(lǐng)域,樣品表面往往同時存在光滑與粗糙、高反光與吸光、平坦與陡坡等復(fù)雜特性,這對傳統(tǒng)單一測量技術(shù)提出了嚴峻挑戰(zhàn)。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過多技術(shù)融合與自適應(yīng)硬件設(shè)計,為復(fù)雜表面測量提供了創(chuàng)新性的系統(tǒng)解決方案。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-11
廠商性質(zhì):代理商
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白光干涉儀S neox應(yīng)對復(fù)雜表面的策略

在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、精密加工等領(lǐng)域,研究人員遇到的樣品表面通常并非理想的光滑平面。它們可能同時包含光滑與粗糙區(qū)域、高反光與吸光材質(zhì)、平坦區(qū)域與高陡坡結(jié)構(gòu)。這種表面的復(fù)雜性對單一測量技術(shù)提出了挑戰(zhàn):共聚焦技術(shù)可能難以應(yīng)對近垂直的陡坡,而傳統(tǒng)的白光干涉儀在粗糙表面容易失相干。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過其多技術(shù)融合和自適應(yīng)硬件設(shè)計,展現(xiàn)出處理這類復(fù)雜表面的能力。

對于混合表面,最關(guān)鍵的是能夠為不同特性的區(qū)域選擇最合適的測量技術(shù)。S neox的集成平臺允許在一次測量序列中,針對同一視野內(nèi)的不同區(qū)域,或通過移動平臺對不同視野,分別采用共聚焦和白光干涉模式進行測量。例如,對于一個經(jīng)過拋光但帶有劃痕的金屬表面,用戶可以使用白光干涉模式來精確測量劃痕的深度和輪廓,同時利用該模式的高縱向分辨率評估拋光區(qū)域納米級的粗糙度。而對于表面上的某些吸光或多孔材料區(qū)域,則可能切換到共聚焦模式以獲得更清晰的形貌數(shù)據(jù)。
高反射表面是光學(xué)測量中的一個常見挑戰(zhàn),容易產(chǎn)生鏡面反射,導(dǎo)致探測器飽和或引入雜散光干擾。S neox提供了光強自動調(diào)節(jié)功能,并可選配偏振器等附件來抑制過強的反射。其白光干涉模式本身對光強的穩(wěn)定性要求較高,儀器內(nèi)部的光路設(shè)計和控制有助于在寬泛的光強范圍內(nèi)保持穩(wěn)定的干涉信號,從而在保證測量精度的同時,適應(yīng)從低反光到高反光的不同樣品。
對于具有高陡坡或近垂直側(cè)壁的樣品,如微孔、微柱陣列或切削刀具的刃口,測量難點在于獲取完整的側(cè)壁形貌信息。S neox通過使用高數(shù)值孔徑的物鏡來提升橫向分辨率和對陡坡的響應(yīng)能力。此外,其共聚焦模式由于是基于點掃描,對陡峭特征的測量有一定幫助。更值得一提的是,軟件中的高級算法能夠?qū)τ捎诙钙略斐傻年幱盎驍?shù)據(jù)丟失進行一定程度的補償和重建,從而提供更完整的三維形貌圖。
此外,對于透明薄膜或多層結(jié)構(gòu),光學(xué)測量需要克服光的折射效應(yīng)帶來的測量誤差。S neox的軟件提供了針對透明材料的專用校正模塊,通過輸入材料的折射率等參數(shù),可以對測量結(jié)果進行校正,從而更接近真實地表征其表面形貌或膜層厚度。

Sensofar S neox應(yīng)對復(fù)雜表面的策略,體現(xiàn)了一種系統(tǒng)性的解決方案思維。它不依賴于單一技術(shù)的優(yōu)化,而是通過提供一整套可靈活組合的測量技術(shù)、可調(diào)節(jié)的硬件參數(shù)和智能的數(shù)據(jù)處理算法,使用戶能夠根據(jù)具體的表面特性“調(diào)配"出測量方案。這種適應(yīng)性使得它在面對各種非理想樣品時,能夠保持測量的有效性和數(shù)據(jù)的可靠性。

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