Sensofar白光干涉光學輪廓儀的測量精度白光干涉光學輪廓儀的測量精度是其在表面形貌測量中受到關(guān)注的重要因素。這種儀器通常能夠提供納米級的縱向分辨率，適用于從粗糙到超光滑表面的多種測量任務(wù)。Sensofar S neox 光學輪廓儀的白光干涉模式在系統(tǒng)噪聲方面表現(xiàn)出較低的水平，根據(jù)不同物鏡配置，系統(tǒng)噪聲可低至數(shù)納米。

在縱向測量方面，Sensofar S neox 光學輪廓儀的Z軸性能提供了兩種模式：普通模式和精細模式。普通模式采用線性導軌，行程為40毫米，精度為5納米；精細模式配備電容傳感器的壓電陶瓷晶體Z軸，行程為200微米，精度為1.25納米。這種設(shè)計使儀器能夠適應(yīng)不同范圍的縱向測量需求。

橫向分辨率取決于物鏡的數(shù)值孔徑和放大倍率。Sensofar S neox 光學輪廓儀提供多種物鏡選擇，從5X到150X，覆蓋不同的視場范圍和像素分辨率。例如，在100X BF物鏡下，像素分辨率可達0.07微米，光學分辨率為0.16微米。這種多物鏡設(shè)計使儀器能夠平衡測量范圍和分辨率的需求。

白光干涉光學輪廓儀的精度還受到環(huán)境因素的影響，如溫度波動和機械振動。Sensofar S neox 光學輪廓儀采用了全封閉光路設(shè)計和恒溫控制系統(tǒng)，有助于減少這些因素對測量精度的影響。此外，儀器的掃描頭內(nèi)無運動部件，降低了振動引起的誤差。

在干涉模式下，Sensofar S neox 光學輪廓儀的系統(tǒng)噪聲為PSI / ePSI 0.1納米（使用PZT時可達0.01納米）或CSI 1納米。這種低噪聲水平有助于提高測量結(jié)果的重復性和準確性。儀器還配備了智能噪音檢測功能，能夠識別并消除不可靠的數(shù)據(jù)像素，進一步提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。

為了確保測量結(jié)果的可追溯性，Sensofar S neox 光學輪廓儀使用符合ISO 25178標準的可追溯標準進行校準。這包括縱向精度、橫向尺寸、平面度誤差以及偏心度等參數(shù)的校準。定期校準有助于維持儀器的長期測量精度。

在實際應(yīng)用中，白光干涉光學輪廓儀的測量精度也受到樣品表面特性的影響。例如，對于透明材料或多層薄膜，可能需要調(diào)整測量參數(shù)或采用不同的測量模式。Sensofar S neox 光學輪廓儀的多模式設(shè)計使其能夠適應(yīng)不同特性的樣品，為用戶提供更可靠的測量結(jié)果。

總的來說，白光干涉光學輪廓儀通過精密的硬件設(shè)計和*的數(shù)據(jù)處理算法，提供了較高的測量精度。其低噪聲、多模式和環(huán)境適應(yīng)性等特點，使其能夠滿足多種應(yīng)用場景對表面形貌測量的精度要求。Sensofar白光干涉光學輪廓儀的測量精度