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產(chǎn)品中心激光干涉儀ZYGO光學(xué)輪廓儀ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案
產(chǎn)品簡介
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案通過針對性適配方案，ZeGage Pro 可突破柔性、磁性、透明脆性樣品的測量限制，滿足更多非常規(guī)場景的 3D 形貌測量需求。
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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案
固定方式：選用真空吸附樣品臺（選配，型號 ZGP-ST01），吸附壓力設(shè)為 0.03-0.05MPa（根據(jù)薄膜厚度調(diào)整，薄膜用低壓力），使薄膜平整貼合臺面，避免褶皺；
光學(xué)調(diào)整：若薄膜透明，開啟軟件 “偏振光 + 增強對比度" 功能，調(diào)整光源亮度至 80%（常規(guī) 50%），提升表面紋理成像清晰度；
參數(shù)設(shè)置：選 20X 物鏡（平衡范圍與精度），掃描范圍 1mm×1mm，數(shù)據(jù)點密度 800 點 /mm2，掃描速度調(diào)慢至 0.5 秒 / 幀（減少氣流對薄膜的擾動）。
磁場屏蔽：在樣品臺與設(shè)備主體間加裝坡莫合金屏蔽板（厚度 2mm，型號 ZGP-SH01），削弱磁場對光學(xué)系統(tǒng)的影響；
樣品清潔：測量前用無磁毛刷清掃零件表面鐵屑，再用無水乙醇擦拭，避免雜質(zhì)附著；
參數(shù)校準(zhǔn)：更換磁性樣品后，用標(biāo)準(zhǔn)臺階樣板（非磁性材質(zhì)，已知高度 0.5mm）重新校準(zhǔn)，確保垂直測量誤≤0.01μm；
硬件選擇：選 5X 或 10X 物鏡（低倍物鏡金屬部件少，受磁場影響?。?，避免用 50X 高倍物鏡（精密部件多，易受干擾）。
夾持方式：用硅膠材質(zhì)柔性夾具（硬度 50 Shore A），夾持力控制在 5-10N（通過夾具調(diào)節(jié)螺絲微調(diào)），避免樣品受力碎裂；
光學(xué)優(yōu)化：在樣品底部墊黑色吸光襯墊（厚度 1mm，型號 ZGP-LN01），減少底面反射光干擾；軟件選擇 “透明樣品專用算法"，增強層間信號識別；
參數(shù)設(shè)置：選 50X 物鏡（測厚度）或 10X 物鏡（測平整度），掃描范圍 0.5-2mm×0.5-2mm，數(shù)據(jù)點密度 1000 點 /mm2，確保捕捉層間細(xì)節(jié)。
樣品預(yù)處理：無論何種特殊樣品，均需清潔表面（無油污、雜質(zhì)），避免影響成像與數(shù)據(jù)；
分步測試：首測量特殊樣品時，先小范圍掃描（如 0.2mm×0.2mm），驗證參數(shù)與適配方案是否可行，再擴大掃描范圍；
數(shù)據(jù)對比：對同一特殊樣品重復(fù)測量 3 次，若數(shù)據(jù)偏≤0.01μm，說明適配方案穩(wěn)定，可批量測量。
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀精特殊樣品適配方案
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