布魯克白光干涉儀輪廓儀設(shè)備開機(jī)與前期準(zhǔn)備

ContourX-100三維光學(xué)輪廓儀的操作流程需遵循標(biāo)準(zhǔn)化步驟，以保證測量數(shù)據(jù)的可靠性。設(shè)備型號為ContourX-100，開機(jī)前需確認(rèn)環(huán)境條件：建議放置在水平工作臺面，避免強(qiáng)光直射與劇烈振動，因設(shè)備雖具備集成防震設(shè)計，但極環(huán)境仍可能影響測量穩(wěn)定性。

ContourX-100三維光學(xué)輪廓儀的操作流程需遵循標(biāo)準(zhǔn)化步驟，以保證測量數(shù)據(jù)的可靠性。設(shè)備型號為ContourX-100，開機(jī)前需確認(rèn)環(huán)境條件：建議放置在水平工作臺面，避免強(qiáng)光直射與劇烈振動，因設(shè)備雖具備集成防震設(shè)計，但極環(huán)境仍可能影響測量穩(wěn)定性。

（一）硬件啟動步驟

1. 連接設(shè)備電源與電腦主機(jī)，打開電源開關(guān)，設(shè)備進(jìn)入自檢模式，此時指示燈呈綠色閃爍，自檢完成后常亮。

2. 啟動白光 LED 光源，等待 3 分鐘預(yù)熱，確保光源輸出穩(wěn)定 —— 光源采用長壽命設(shè)計，但頻繁開關(guān)會縮短使用壽命，建議持續(xù)待機(jī)狀態(tài)。

3. 檢查載物臺狀態(tài)：手動推動載物臺確認(rèn)移動順暢，通過水平調(diào)整旋鈕將臺面調(diào)至水平，偏角調(diào)整范圍為 ±5°，可借助水平儀輔助校準(zhǔn)。

（二）樣品準(zhǔn)備與裝載

1. 根據(jù)樣品尺寸選擇合適的固定方式：小型樣品可直接放置于載物臺中心，大型樣品需確認(rèn)尺寸不超過 100mm×100mm 的載物臺范圍。

2. 清潔樣品表面：用無塵布蘸取無水乙醇擦拭，去除油污與灰塵，避免影響反射率檢測 —— 設(shè)備雖能適配 0.05% 至 100% 反射率，但表面雜質(zhì)可能導(dǎo)致局部測量偏差。

3. 輕放樣品于載物臺，通過手動調(diào)節(jié)旋鈕將樣品移動至測量視野下方，初步對準(zhǔn)鏡頭。

二、測量模式設(shè)置與參數(shù)調(diào)節(jié)

（一）軟件啟動與模式選擇

• 厚膜、精密加工表面優(yōu)先選擇 WLI 模式，測量范圍 50nm 至 10mm；

• 超薄膜（0 至 3μm）選擇 PSI 模式，可獲得更高重復(fù)性；

• 需同時分析表面形貌與色彩時，可勾選 “Color Imaging" 選項(xiàng)（需軟件 license 支持）。

（二）光學(xué)參數(shù)配置

1. 鏡頭選擇：設(shè)備配備 4 物鏡炮塔，支持自動位置感測與切換，根據(jù)測量精度需求選擇物鏡倍率，倍率變化不影響 Z 軸分辨率。

2. 攝像頭參數(shù)：500 萬像素攝像頭默認(rèn)輸出 2592×1944 分辨率圖像，可通過光學(xué)變焦調(diào)整視野，1X 變焦適用于大區(qū)域掃描，4X 變焦用于局部細(xì)節(jié)檢測。

3. 掃描參數(shù)設(shè)置：在軟件中輸入縱向掃描范圍，壓電陶瓷驅(qū)動最大支持 500μm，需更大范圍時可切換至 100mm 縱向運(yùn)動模式；掃描速度設(shè)為 12μm/sec，平衡效率與精度。

三、樣品測量與數(shù)據(jù)處理流程

（一）自動測量操作

1. 點(diǎn)擊軟件 “自動對焦" 按鈕，設(shè)備通過攝像頭識別樣品表面，完成焦點(diǎn)定位；若對焦不準(zhǔn)確，可手動調(diào)節(jié)載物臺高度輔助對準(zhǔn)。

2. 開啟 “自動拼接" 功能（需大面積測量時），設(shè)置掃描區(qū)域與拼接次數(shù)，設(shè)備將自動完成多區(qū)域掃描并合成完整 3D 形貌圖。

3. 啟動測量后，系統(tǒng)自動保存原始數(shù)據(jù)，同時進(jìn)行實(shí)時分析，可在界面實(shí)時查看 2D 輪廓曲線與 3D 偽彩圖。

（二）數(shù)據(jù)篩選與報告生成

1. 分析工具選擇：從軟件預(yù)編程濾鏡庫中調(diào)用適配標(biāo)準(zhǔn)，如 ISO 25178 用于表面粗糙度分析，ASME B46.1 用于輪廓參數(shù)計算。

2. 數(shù)據(jù)處理：剔除異常點(diǎn)后，軟件可生成臺階高度直方圖、粗糙度參數(shù)表等結(jié)果，支持上千項(xiàng)自定義分析項(xiàng)的組合輸出。

3. 報告導(dǎo)出：選擇 “定制化報告" 模板，可包含測量參數(shù)、原始圖像、分析結(jié)果等內(nèi)容，格式支持 PDF、Excel 等，同時可通過 Online 平臺上傳至云端，或用移動端 APP 查看。

四、關(guān)機(jī)與日常維護(hù)要點(diǎn)

1. 測量完成后，先關(guān)閉白光 LED 光源，等待 5 分鐘冷卻后再關(guān)閉設(shè)備電源。

2. 清潔保養(yǎng)：用鏡頭紙擦拭物鏡與攝像頭鏡片，載物臺表面用無塵布清潔，避免殘留樣品碎屑影響下次測量。

3. 定期校準(zhǔn)：每月使用標(biāo)配的 10μm 臺階高度標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行校準(zhǔn)，確保 Z 軸測量精度；每季度聯(lián)系售后進(jìn)行全面維護(hù)，布魯克提供安裝調(diào)試后的免費(fèi)培訓(xùn)，可咨詢校準(zhǔn)細(xì)節(jié)。