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澤攸全自動(dòng)臺(tái)階儀參數(shù)與用材解析全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS3000B 作為用于表面形貌測(cè)量的設(shè)備，其參數(shù)配置與用材選擇直接關(guān)系到設(shè)備的使用效果與穩(wěn)定性，是用戶了解該設(shè)備的重要切入點(diǎn)。
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澤攸全自動(dòng)臺(tái)階儀參數(shù)與用材解析
在核心參數(shù)方面，該設(shè)備的測(cè)量范圍覆蓋多個(gè)維度。垂直測(cè)量范圍能夠滿足多數(shù)常見(jiàn)樣品的臺(tái)階高度測(cè)量需求，從微小的納米級(jí)臺(tái)階到一定毫米級(jí)的高度差均可應(yīng)對(duì)；水平測(cè)量范圍則可適配不同尺寸的樣品，無(wú)論是小型芯片還是較大規(guī)格的基板，都能在設(shè)備上完成測(cè)量。分辨率是臺(tái)階儀的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一，JS3000B 的垂直分辨率可達(dá)到較低的納米級(jí)別，水平分辨率也處于行業(yè)內(nèi)常用的精細(xì)水平，能夠捕捉到樣品表面細(xì)微的形貌變化。測(cè)量速度方面，設(shè)備提供多檔可選模式，快速模式適用于初步篩查，精細(xì)模式則用于獲取更準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，不同模式下的測(cè)量時(shí)間會(huì)根據(jù)樣品尺寸和參數(shù)設(shè)置有所不同。
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