參數(shù)設(shè)置與掃描執(zhí)行
通過10英寸觸控屏或Mx軟件界面，用戶可設(shè)定掃描范圍（如1mm×1mm區(qū)域）、掃描速度（常規(guī)測(cè)量選中等速度，高精度需求選低速）、物鏡倍率（1.0X-50X可選）等參數(shù)。啟動(dòng)掃描后，軟件實(shí)時(shí)顯示三維形貌預(yù)覽圖，用戶可監(jiān)控掃描進(jìn)度與數(shù)據(jù)質(zhì)量，及時(shí)識(shí)別信號(hào)干擾、運(yùn)動(dòng)故障等異常。掃描過程中，設(shè)備采用相干掃描干涉術(shù)（CSI）捕捉納米級(jí)表面細(xì)節(jié)，垂直分辨率優(yōu)于0.1納米，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)性。

數(shù)據(jù)分析與報(bào)告生成
掃描完成后，軟件自動(dòng)生成三維形貌圖、二維輪廓曲線、粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz）等數(shù)據(jù)，并支持多維度參數(shù)計(jì)算與圖形繪制。用戶可通過“數(shù)據(jù)分析工具"標(biāo)注表面缺陷、計(jì)算缺陷深度、對(duì)比不同區(qū)域粗糙度差異。報(bào)告生成功能支持自定義模板，可添加企業(yè)LOGO、測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)等信息，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為Excel、PDF、CAD等格式，便于存檔、分享或協(xié)同分析。