認(rèn)識(shí)布魯克三維光學(xué)輪廓儀光學(xué)顯微鏡

布魯克ContourX-500三維光學(xué)輪廓儀是一款用于表面形貌測(cè)量的非接觸式測(cè)量?jī)x器。它基于白光干涉技術(shù)，能夠?qū)某饣酱植诘榷喾N表面進(jìn)行三維形貌重建和定量分析。該儀器在研發(fā)、質(zhì)量控制和失效分析等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材：
ContourX-500的設(shè)計(jì)注重穩(wěn)定性和易用性。其主體結(jié)構(gòu)采用剛性金屬框架，內(nèi)部光學(xué)元件被精密地固定在穩(wěn)固的基座上，以減小環(huán)境振動(dòng)和溫度波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的干擾。儀器外殼由工程塑料和金屬構(gòu)成，既保證了儀器的輕便性，也提供了必要的物理保護(hù)。樣品臺(tái)通常采用硬質(zhì)陽極氧化鋁材質(zhì)，兼具耐磨性和輕量化特點(diǎn)。標(biāo)準(zhǔn)載物臺(tái)尺寸適用于多種樣品，并可選配不同尺寸的載物臺(tái)以適應(yīng)更大或特殊形狀的樣品。

產(chǎn)品性能與用途：
該儀器的核心性能在于其非接觸式測(cè)量能力，能夠在不損傷樣品表面的情況下，獲取高保真的三維表面數(shù)據(jù)。它適用于測(cè)量表面粗糙度、臺(tái)階高度、平面度、體積、表面積等多種參數(shù)。無論是半導(dǎo)體晶圓的膜厚測(cè)量，還是機(jī)械零件的磨損分析，或是光學(xué)元件的面型檢測(cè)，ContourX-500都能提供有價(jià)值的量化數(shù)據(jù)。

使用說明：
操作流程通常包括以下幾個(gè)步驟：首先，將樣品平穩(wěn)放置在載物臺(tái)上；其次，通過內(nèi)置的彩色攝像機(jī)進(jìn)行快速對(duì)焦和觀測(cè)，選擇感興趣的測(cè)量區(qū)域；然后，設(shè)置合適的掃描參數(shù)，啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量序列；最后，利用儀器配套的分析軟件對(duì)獲取的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行可視化和量化分析。整個(gè)流程設(shè)計(jì)得較為直觀，旨在提升用戶的操作效率。

參數(shù)表概覽：

• 型號(hào)： ContourX-500

• 垂直測(cè)量范圍： 最高可達(dá)10mm（取決于物鏡）

• 垂直分辨率： 可達(dá)0.1nm

• 水平視野： 依賴于所選物鏡（例如，0.5倍物鏡視野可達(dá)約14mm x 14mm）

• 測(cè)量技術(shù)： 白光干涉垂直掃描（VSI）和相移干涉（PSI）

• 平臺(tái)尺寸： 標(biāo)準(zhǔn)配置200mm x 200mm

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