布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析

ContourX-500的操作流程兼顧效率與準(zhǔn)確性，通過標(biāo)準(zhǔn)化步驟與智能化輔助功能，降低用戶學(xué)習(xí)成本。

設(shè)備準(zhǔn)備與校準(zhǔn)

1. 環(huán)境檢查：確保設(shè)備放置于水平臺面，溫度17-29℃、濕度30-65%，避免陽光直射與強(qiáng)振動源。

2. 光學(xué)校準(zhǔn)：開機(jī)預(yù)熱10分鐘后，啟動Vision64®軟件，選擇“系統(tǒng)校準(zhǔn)"模塊，使用NIST溯源的臺階標(biāo)樣（高度10μm）驗(yàn)證垂直分辨率，重復(fù)測量30次的標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)＜0.75%。

3. 光路對齊：放置樣品前，通過“實(shí)時預(yù)覽"功能調(diào)整物鏡焦距與光強(qiáng)，確保干涉條紋清晰可見。

測量流程

1. 樣品固定：使用真空吸盤或磁性夾具固定樣品，避免手動接觸導(dǎo)致污染。對于曲面樣品（如透鏡），需選用專用光學(xué)夾具并調(diào)整光軸對齊。

2. 參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品特征選擇測量模式（如PSI模式適用于平滑表面，VSI模式適用于臺階結(jié)構(gòu)），設(shè)置掃描范圍（最大5mm×5mm）、步長（推薦0.5μm）與拼接方式（自動或手動）。

3. 數(shù)據(jù)采集：點(diǎn)擊“開始掃描"后，設(shè)備自動完成光強(qiáng)校準(zhǔn)、背景校正與形貌重建，單次測量時間依區(qū)域大小而定（通常2-10分鐘）。

數(shù)據(jù)分析與導(dǎo)出
軟件支持三維形貌圖、截面曲線與統(tǒng)計(jì)報(bào)表的生成，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為CSV、DXF或圖像格式（PNG、TIFF）。通過“批量處理"功能，用戶可同時分析多個樣品的數(shù)據(jù)，并生成符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的定制化報(bào)告。

布魯克三維光學(xué)輪廓儀從設(shè)備啟動到數(shù)據(jù)分析