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產(chǎn)品中心三維光學輪廓儀SensofarSensofarS?neox光學干涉儀使用與維護指南
產(chǎn)品簡介
SensofarS?neox光學干涉儀使用與維護指南Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量模式于一體的三維光學輪廓儀，適用于實驗室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線的表面形貌檢測。
產(chǎn)品分類
SensofarS?neox光學干涉儀使用與維護指南
開機準備：通電后預熱約 10?分鐘，使光學系統(tǒng)達到熱平衡，確保測量精度。
樣品裝載：將樣品放置在 XY 平臺上，使用平臺的傾斜調(diào)平功能將樣品法線對準光軸，必要時使用微調(diào)螺絲進行細微校正。
模式選擇：根據(jù)樣品的反射率或透明度，在軟件界面選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式；系統(tǒng)會自動調(diào)節(jié)光源強度和焦距。
參數(shù)設(shè)置：在 SensoSCAN 或 SensoMAP 軟件中設(shè)定掃描范圍、分辨率、幀率等參數(shù)；若使用 AI 自動路徑規(guī)劃，僅需標記關(guān)鍵測量點，系統(tǒng)即可完成全表面三維重建。
校準與驗證：每月使用標準校準片（如 NIST 參考平面）進行垂直分辨率校驗，確保 0.1?nm 級別的測量準確性。
數(shù)據(jù)處理：測量完成后，利用 SensoMAP 高級分析模塊計算 ISO?25178/ISO?4287 標準的粗糙度參數(shù)（Sa、Sq、Sz 等），并可直接生成符合行業(yè)規(guī)范的報告。
日常維護：保持光學窗口清潔，避免強酸堿或粉塵侵入；定期檢查光源壽命（LED 光源可使用約 50?000?h）并在需要時更換。
通過上述步驟，用戶可以在實驗室或生產(chǎn)線上實現(xiàn)快速、可靠的三維表面測量，充分發(fā)揮 S?neox 多模式技術(shù)的優(yōu)勢。
S?neox 通過共聚焦與白光干涉的技術(shù)融合，實現(xiàn)了亞納米級縱向分辨率與微米級橫向分辨率的平衡，并配備高速掃描、自動化測量和多行業(yè)適配的軟硬件生態(tài)。其模塊化的型號設(shè)計能夠滿足從基礎(chǔ)粗糙度檢測到半導體封裝分析的多層次需求。正確的使用流程和定期校準能夠進一步保證測量結(jié)果的可靠性，使其在科研、質(zhì)量控制和生產(chǎn)線監(jiān)測等場景中發(fā)揮穩(wěn)定的作用。
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