ZYGO光學輪廓儀操作：輕松上手的測量工具
ZYGO Nexview™ NX2 光學輪廓儀在操作設計上，充分考慮不同用戶的使用習慣，讓新手也能快速熟悉測量流程。其核心操作軟件采用直觀的分區(qū)布局，主界面上方為功能菜單欄，包含 “樣品管理"“測量設置"“數據處理" 等選項，每個選項下的子功能都配有清晰的文字說明；中間是實時成像窗口，可同步顯示樣品的二維圖像與三維輪廓預覽；下方為操作進度條與參數提示欄，方便用戶實時掌握測量狀態(tài)。
樣品定位環(huán)節(jié)十分便捷，軟件自帶 “智能尋焦" 功能，點擊后設備會自動掃描樣品表面，快速找到清晰成像的焦距位置，無需手動反復調節(jié)。若需精準定位測量區(qū)域，用戶可在成像窗口中用鼠標拖拽框選，系統(tǒng)會自動記錄該區(qū)域坐標，后續(xù)再次測量時直接調用坐標即可，避免重復定位。測量模式選擇上，設備提供白光干涉、共聚焦、動態(tài)模式等多種選項，每種模式都預設了適配常見樣品的參數，如測量光學鏡片時，調用 “光學元件" 預設模式，即可自動匹配合適的掃描速度與分辨率；專業(yè)用戶也可在 “參數自定義" 界面調整橫向采樣間隔、縱向掃描范圍等參數，調整過程中軟件會實時顯示參數對應的測量效果預覽，便于及時調整。
硬件操作同樣簡單，電動樣品臺通過軟件中的虛擬手柄控制，可實現 X、Y、Z 軸的平穩(wěn)移動，移動速度可根據需求調節(jié)，最慢速度適合精細定位，最快速度方便快速切換樣品。樣品固定采用可調節(jié)卡扣式夾具，只需轉動旋鈕即可夾緊樣品，適配從 5mm×5mm 的微型芯片到 150mm×150mm 的電路板等不同尺寸樣品，最大承重達 20kg，滿足多樣測量需求。批量測量時，軟件支持導入樣品坐標列表，設備會按照列表順序自動完成每個樣品的測量，測量完成后數據可自動導出為 CSV、TIF 等格式，還能生成包含測量參數、結果分析的報告，減少人工整理數據的工作量。
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