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ZYGO ZeGage Pro 技術:多原理支撐測量方案

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ZYGO ZeGage Pro 技術:多原理支撐測量方案
ZeGage Pro 依托多種成熟光學測量技術,實現(xiàn)對不同表面特性樣品的精準檢測。其核心技術包括相移干涉(PSI)與動態(tài)干涉(DI),相移干涉技術通過控制參考鏡的微小位移,采集多幅具有不同相位差的干涉圖像,再通過算法提取樣品表面高度信息,適用于超光滑表面測量,縱向分辨率可達到 0.1nm

產品型號:
更新時間:2026-01-06
廠商性質:代理商
訪問量:195
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ZYGO ZeGage Pro 技術:多原理支撐測量方案

ZeGage Pro 依托多種成熟光學測量技術,實現(xiàn)對不同表面特性樣品的精準檢測。其核心技術包括相移干涉(PSI)與動態(tài)干涉(DI),相移干涉技術通過控制參考鏡的微小位移,采集多幅具有不同相位差的干涉圖像,再通過算法提取樣品表面高度信息,適用于超光滑表面測量,縱向分辨率可達到 0.1nm;動態(tài)干涉技術則能在樣品輕微振動的環(huán)境下穩(wěn)定工作,通過實時捕捉干涉條紋變化,消除振動對測量結果的影響,適配生產線上的在線檢測場景。


設備還集成了共聚焦成像技術,當測量粗糙表面樣品時,共聚焦技術可通過針孔濾波去除雜散光,清晰呈現(xiàn)樣品表面微觀結構,搭配軟件中的 “3D 重建" 功能,能生成直觀的三維形貌圖,幫助用戶更清晰地觀察樣品表面紋理、劃痕等細節(jié)。核心光學部件選用低色散光學玻璃,經過特殊的鍍膜處理,有效減少光線反射與折射損失,提升透光率,確保成像質量穩(wěn)定。圖像傳感器采用高分辨率 CMOS 芯片,在 120 幀 / 秒的采集速度下,仍能保持 0.15μm 的橫向分辨率,可清晰捕捉樣品表面微小特征。

為適應不同環(huán)境,設備搭載了環(huán)境補償系統(tǒng),能實時監(jiān)測溫度、濕度變化,并自動調整測量參數,即使在溫度波動 ±2℃、濕度 40%-60% 的普通實驗室環(huán)境中,也能保證測量結果的一致性。此外,軟件內置的 “自動校準" 功能,定期提醒用戶進行系統(tǒng)校準,校準過程無需專業(yè)人員操作,按照提示步驟即可完成,進一步降低使用門檻。

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