在微型元件的缺陷檢測方面，S neox 具備出色的細(xì)節(jié)捕捉能力。微型電子元件在制造過程中，可能因模具磨損、加工工藝波動產(chǎn)生表面劃痕、凹陷、毛刺或封裝膠體氣泡等缺陷。以芯片封裝膠體檢測為例，封裝膠體表面若存在凹陷或氣泡，可能導(dǎo)致芯片散熱不良或機(jī)械強(qiáng)度下降。通過 S neox 對封裝膠體表面進(jìn)行掃描，能精準(zhǔn)識別凹陷的深度與面積、氣泡的位置與大小，甚至可檢測到膠體內(nèi)部幾微米大小的微小氣泡。設(shè)備的重復(fù)性優(yōu)異，對同一缺陷進(jìn)行多次檢測，數(shù)據(jù)偏差極小，為缺陷判定與工藝優(yōu)化提供可靠依據(jù)。
從用材與設(shè)備穩(wěn)定性來看，S neox 也適配微型電子元件制造的潔凈車間環(huán)境。機(jī)身框架采用高強(qiáng)度鋁合金材料，重量輕且抗腐蝕，可適應(yīng)潔凈室定期的無塵清潔與消毒，不易因環(huán)境濕度或清潔劑影響出現(xiàn)部件老化；檢測平臺選用不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)過精細(xì)打磨，平整度高，且配備專用的微型元件固定夾具，可穩(wěn)定固定尺寸微小的元件，避免檢測過程中元件位移導(dǎo)致的誤差。設(shè)備的抗振動設(shè)計(jì)能減少潔凈室中貼片機(jī)、焊錫機(jī)等設(shè)備運(yùn)行時產(chǎn)生的振動干擾，確保在多設(shè)備協(xié)同工作的環(huán)境下，檢測數(shù)據(jù)依然穩(wěn)定可靠。
在實(shí)際操作中，S neox 針對微型電子元件的微小尺寸與脆弱特性，設(shè)計(jì)了便捷且精準(zhǔn)的檢測流程。以微型傳感器電極圖案檢測為例，使用說明如下：首先，在潔凈工作臺上，將待檢測的微型傳感器放置在 S neox 檢測平臺的專用微定位夾具上，通過顯微鏡輔助對準(zhǔn)，確保傳感器的電極區(qū)域位于檢測鏡頭正下方，夾具壓力需輕柔，避免損壞傳感器脆弱的電極結(jié)構(gòu)；接著，打開配套檢測軟件，在 “微型電子元件檢測模板" 中選擇 “電極檢測" 模式，根據(jù)電極圖案的尺寸（如電極寬度 5 微米、間距 3 微米）設(shè)置檢測區(qū)域大?。ㄍǔ８采w 2-3 組電極圖案），調(diào)整掃描分辨率（選擇高分辨率以清晰呈現(xiàn)電極邊緣細(xì)節(jié)）；隨后，點(diǎn)擊 “開始檢測"，設(shè)備電動平移臺以微米級精度帶動傳感器移動，共聚焦光學(xué)系統(tǒng)同步采集電極表面的光學(xué)信號，實(shí)時生成三維輪廓圖像，軟件會自動識別電極邊緣，計(jì)算電極寬度、間距及高度；檢測完成后，可通過 15 英寸高清觸控屏放大查看電極圖案細(xì)節(jié)，對比設(shè)計(jì)圖紙中的尺寸要求，判斷是否合格，也可將檢測數(shù)據(jù)導(dǎo)出為 CSV 格式，用于生產(chǎn)質(zhì)量統(tǒng)計(jì)或研發(fā)數(shù)據(jù)分析；最后，檢測結(jié)束后，關(guān)閉檢測程序，小心取下傳感器，用無塵布蘸取專用清潔劑輕輕擦拭檢測平臺與夾具，為下一次檢測做好準(zhǔn)備。
S neox 的參數(shù)配置進(jìn)一步貼合微型電子元件檢測需求：檢測技術(shù)為 3D 共聚焦白光干涉技術(shù)，保障納米級檢測精度；檢測平臺移動精度達(dá)微米級，滿足微型元件的精準(zhǔn)定位；軟件中的 “邊緣檢測" 模塊，可自動識別元件的輪廓邊緣，減少人工測量的誤差；“多區(qū)域批量檢測" 功能，可預(yù)設(shè)多個檢測區(qū)域，實(shí)現(xiàn)對同一元件不同部位的連續(xù)掃描，提升檢測效率。此外，設(shè)備支持與電子設(shè)計(jì)自動化（EDA）軟件對接，可直接導(dǎo)入元件的設(shè)計(jì)圖紙數(shù)據(jù)，將實(shí)際檢測結(jié)果與設(shè)計(jì)值進(jìn)行自動對比，快速生成偏差報告，為生產(chǎn)工藝調(diào)整提供直觀依據(jù)。
隨著微型電子元件向更小尺寸、更高集成度方向發(fā)展（如 MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)、微型射頻元件），對檢測設(shè)備的精度與適配性要求不斷提升。Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，以精準(zhǔn)的檢測能力、靈活的適配性與穩(wěn)定的性能，為微型電子元件制造企業(yè)提供從研發(fā)到生產(chǎn)的全流程質(zhì)量保障，幫助企業(yè)提升產(chǎn)品合格率，降低失效風(fēng)險，在微型電子領(lǐng)域的競爭中占據(jù)優(yōu)勢。
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