澤攸ZEM15：電鏡能譜一體分析設(shè)備
在材料成分與微觀形貌同步分析的需求中，ZEM15 臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)憑借集成化設(shè)計(jì)和實(shí)用性能，成為實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。它將掃描電子顯微鏡與能譜儀的功能結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了微觀形貌觀察與成分分析的同步進(jìn)行，為科研和檢測(cè)工作提供了便捷的解決方案。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)：集成設(shè)計(jì)兼顧操作便利
ZEM15 的機(jī)身采用緊湊型設(shè)計(jì)，整體尺寸適中，占地面積約 0.6 平方米，適合放置在常規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)。機(jī)身框架選用高強(qiáng)度合金材料，表面經(jīng)過(guò)防腐蝕處理，能適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室復(fù)雜環(huán)境。設(shè)備前端為樣品室，采用側(cè)開(kāi)式門(mén)設(shè)計(jì)，最大可容納直徑 40mm、高度 15mm 的樣品，樣品臺(tái)支持 X、Y、Z 三維移動(dòng)，移動(dòng)范圍分別為 30mm、30mm、20mm，調(diào)節(jié)旋鈕操作順暢，定位精度良好。
核心的電子光學(xué)系統(tǒng)與能譜探測(cè)系統(tǒng)集成在設(shè)備上部，電子槍采用鎢燈絲結(jié)構(gòu)，能譜探測(cè)器為硅漂移探測(cè)器（SDD），兩者位置校準(zhǔn)精準(zhǔn)，確保電子束照射點(diǎn)與能譜探測(cè)區(qū)域一致。設(shè)備配備 10.1 英寸觸控顯示屏，可同時(shí)顯示顯微圖像和能譜分析數(shù)據(jù)，操作界面包含圖像調(diào)節(jié)、譜圖分析等功能模塊，布局清晰便于上手。
設(shè)備后部設(shè)有電源接口、數(shù)據(jù)傳輸接口和真空系統(tǒng)接口，其中數(shù)據(jù)接口支持與電腦連接，可實(shí)現(xiàn)圖像和能譜數(shù)據(jù)的導(dǎo)出與進(jìn)一步分析。真空系統(tǒng)采用內(nèi)置機(jī)械泵，抽氣速度較快，且運(yùn)行噪音較低，對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境影響較小。
產(chǎn)品性能：同步分析保障數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)
ZEM15 的掃描電鏡部分在高真空模式下，二次電子像分辨率可達(dá) 5nm，放大倍數(shù)范圍為 20 倍至 8 萬(wàn)倍，能清晰呈現(xiàn)樣品表面的微觀形貌，如顆粒分布、孔隙結(jié)構(gòu)等細(xì)節(jié)。能譜分析部分的能量分辨率優(yōu)于 133eV（Mn Kα），元素檢測(cè)范圍覆蓋 B（5）至 U（92），可對(duì)樣品表面微區(qū)的元素組成進(jìn)行定性和半定量分析。
設(shè)備的成像與分析同步性較好，在觀察微觀形貌的同時(shí)，可隨時(shí)啟動(dòng)能譜分析功能，對(duì)感興趣區(qū)域進(jìn)行成分探測(cè)，減少了樣品移動(dòng)導(dǎo)致的位置偏差，保證形貌特征與成分?jǐn)?shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)性。能譜分析的采集時(shí)間可根據(jù)需求調(diào)節(jié)，通常 30 秒至 1 分鐘即可獲得滿(mǎn)足需求的譜圖數(shù)據(jù)，分析效率能滿(mǎn)足常規(guī)實(shí)驗(yàn)要求。
真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性良好，從大氣壓降至工作真空度（≤1×10?3 Pa）所需時(shí)間約 8 分鐘，且真空度波動(dòng)較小，確保電子束穩(wěn)定和能譜探測(cè)的準(zhǔn)確性。設(shè)備的長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性表現(xiàn)不錯(cuò)，連續(xù)工作 4 小時(shí)后，圖像漂移和能譜峰位偏差均在可接受范圍內(nèi)。
用材、參數(shù)與用途
ZEM15 的關(guān)鍵部件選用適配性材料，電子槍燈絲為高純鎢絲，具有較長(zhǎng)使用壽命；能譜探測(cè)器的窗口為超薄鈹窗，減少低能 X 射線(xiàn)吸收；樣品臺(tái)表面為陶瓷涂層，耐高溫且絕緣性好；真空管路采用不銹鋼材質(zhì)，防腐蝕且密封性能可靠。
部分參數(shù)如下：
該設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、地質(zhì)礦物、電子器件、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。在材料科學(xué)中，可分析復(fù)合材料的相分布與成分對(duì)應(yīng)關(guān)系；地質(zhì)領(lǐng)域用于識(shí)別礦物顆粒組成；電子行業(yè)可檢測(cè)芯片表面污染物的元素成分；環(huán)境監(jiān)測(cè)中能分析大氣顆粒物的形貌與元素來(lái)源。
使用說(shuō)明
使用前需檢查設(shè)備電源連接是否正常，打開(kāi)主電源后，設(shè)備需預(yù)熱 20 分鐘。樣品準(zhǔn)備時(shí)，導(dǎo)電樣品可直接用導(dǎo)電膠固定，非導(dǎo)電樣品建議進(jìn)行噴碳處理。將樣品臺(tái)放入樣品室并關(guān)閉艙門(mén)，啟動(dòng)真空系統(tǒng)，待真空度達(dá)標(biāo)后（屏幕顯示 “真空就緒"），方可進(jìn)行后續(xù)操作。
通過(guò)觸控屏調(diào)節(jié)加速電壓（建議 5-10kV 用于形貌觀察，10-15kV 用于能譜分析），移動(dòng)樣品臺(tái)找到感興趣區(qū)域，調(diào)節(jié)焦距和放大倍數(shù)至圖像清晰。進(jìn)行能譜分析時(shí)，點(diǎn)擊 “采集譜圖" 按鈕，選擇點(diǎn)分析、線(xiàn)掃描或面分布模式，設(shè)置采集時(shí)間后開(kāi)始分析，譜圖和元素含量數(shù)據(jù)會(huì)實(shí)時(shí)顯示在屏幕上。
分析完成后，先保存數(shù)據(jù)至設(shè)備內(nèi)置存儲(chǔ)或通過(guò)數(shù)據(jù)接口導(dǎo)出，再依次關(guān)閉電子槍、真空系統(tǒng)，待樣品室氣壓恢復(fù)后打開(kāi)艙門(mén)取出樣品。日常維護(hù)需每周清潔樣品室，每月檢查真空管路密封性，每半年更換一次真空泵油。
ZEM15 臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)以其集成化設(shè)計(jì)、同步分析能力和廣泛的適用性，為微觀形貌與成分關(guān)聯(lián)分析提供了實(shí)用工具，適合各類(lèi)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展常規(guī)分析工作。
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