在材料科學(xué)、生物研究、電子制造及教育等領(lǐng)域，對(duì)樣品進(jìn)行微納米尺度的觀察是一項(xiàng)基本需求。傳統(tǒng)的大型掃描電子顯微鏡（SEM）往往對(duì)場(chǎng)地、環(huán)境和技術(shù)操作有相應(yīng)要求。澤攸科技的ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡，則提供了一種進(jìn)入微觀世界的方式。它集成了電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一個(gè)緊湊的桌面尺寸機(jī)身內(nèi)，降低了用戶的使用門檻。

從產(chǎn)品設(shè)計(jì)上看，ZEM15結(jié)構(gòu)緊湊，外觀簡(jiǎn)潔。其鏡體部分采用了金屬材料，保證了設(shè)備的穩(wěn)定性和屏蔽性。內(nèi)部核心部件包括場(chǎng)發(fā)射電子槍、電磁透鏡、掃描線圈以及半導(dǎo)體探測(cè)器等。其樣品室設(shè)計(jì)注重便捷性，樣品臺(tái)可移動(dòng)范圍能滿足大部分常規(guī)樣品的觀察需求，加載樣品的過程相對(duì)簡(jiǎn)化，無需復(fù)雜的抽真空等待過程。

該儀器的性能特點(diǎn)在于其采用冷場(chǎng)發(fā)射電子源，這項(xiàng)技術(shù)幫助系統(tǒng)在獲得圖像分辨率方面有所表現(xiàn)。相較于某些臺(tái)式電鏡的鎢燈絲或熱場(chǎng)發(fā)射技術(shù)，冷場(chǎng)發(fā)射源具有光源亮度較好和能量 spread 較窄的特點(diǎn)，這有助于獲得更清晰的圖像。ZEM15通常配備背散射電子（BSE）和二次電子（SE）探測(cè)器，可以同時(shí)獲取樣品成分襯度和表面形貌襯度信息。

基本參數(shù)概覽：

• 型號(hào)： ZEM15

• 電子槍類型： 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

• 分辨率： 可提供優(yōu)于一定數(shù)值的高真空模式分辨率（請(qǐng)以最新參數(shù)為準(zhǔn)）

• 加速電壓： 多檔可調(diào)（如1kV - 15kV或更寬范圍）

• 放大倍數(shù)： 寬范圍連續(xù)可調(diào)（從低倍到高倍，如10x - 200,000x或更高）

• 樣品室尺寸： 可容納適度尺寸的樣品

• 樣品臺(tái)： 五軸優(yōu)中心馬達(dá)控制（X, Y, Z, 傾斜, 旋轉(zhuǎn)）

• 真空系統(tǒng)： 集成分子泵，真空度可達(dá)高真空范圍

其用途廣泛，適用于金屬材料斷口分析、陶瓷燒結(jié)體觀察、礦物成分研究、納米材料形貌表征、半導(dǎo)體芯片缺陷檢測(cè)、生物樣品脫水處理后的觀察以及高等院校的教學(xué)演示等。

使用前，需將儀器安置在穩(wěn)固、無強(qiáng)磁場(chǎng)干擾的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。開機(jī)后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)完成抽真空等準(zhǔn)備工作。樣品制備是關(guān)鍵步驟，對(duì)于非導(dǎo)電樣品，通常需要進(jìn)行噴金或噴碳處理以消除荷電效應(yīng)。將處理好的樣品放入樣品室，在軟件上選擇加速電壓、探針電流和掃描速度等參數(shù)，即可開始尋找視野并聚焦成像。