布魯克公司的ContourX系列三維光學(xué)輪廓儀，涵蓋了ContourX-500, ContourX-200和ContourX-100三種型號(hào)，為不同領(lǐng)域的表面三維形貌測(cè)量提供了多樣的選擇。這個(gè)系列的產(chǎn)品基于白光干涉技術(shù)（也稱(chēng)垂直掃描干涉術(shù)），通過(guò)非接觸的方式，能夠?qū)某饣较喈?dāng)粗糙的表面進(jìn)行三維形貌測(cè)量和量化分析。

該系列儀器均采用穩(wěn)固的橋式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，基座和主要支撐結(jié)構(gòu)通常使用高質(zhì)量的花崗巖或高級(jí)合金材料，這種材料的選擇有效減少了環(huán)境振動(dòng)和溫度變化帶來(lái)的測(cè)量誤差，確保了儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和重復(fù)性。其核心光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，提供了清晰的光學(xué)成像。

在性能表現(xiàn)上，ContourX系列能夠提供納米級(jí)別的垂直分辨率和亞微米級(jí)別的橫向分辨率，可以精確重建表面的三維微觀結(jié)構(gòu)。無(wú)論是研究表面的臺(tái)階高度、粗糙度，還是分析微觀結(jié)構(gòu)的體積和角度，ContourX系列都能提供有價(jià)值的數(shù)據(jù)。

三款型號(hào)的主要區(qū)別在于其樣品臺(tái)的行程范圍和承載能力，以適應(yīng)不同的應(yīng)用場(chǎng)景。ContourX-500擁有最大的測(cè)量空間，適合測(cè)量較大的樣品或需要在大范圍內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的任務(wù)；ContourX-200則在緊湊的設(shè)計(jì)中提供了適中的測(cè)量范圍，兼顧了靈活性和實(shí)用性；而ContourX-100以其較小的臺(tái)面和相對(duì)經(jīng)濟(jì)的配置，專(zhuān)注于較小樣品的高效率測(cè)量。

簡(jiǎn)要參數(shù)對(duì)比（示例）：

總而言之，布魯克ContourX系列是一個(gè)功能全面、適應(yīng)性強(qiáng)的表面計(jì)量工具，為科研和工業(yè)質(zhì)量控制提供了可靠的支持。