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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200布魯克輪廓儀：中小量程測(cè)量?jī)?yōu)選
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布魯克輪廓儀：中小量程測(cè)量?jī)?yōu)選在精密測(cè)量領(lǐng)域，并非所有場(chǎng)景都需要超大量程的檢測(cè)設(shè)備，中小量程的精準(zhǔn)測(cè)量需求同樣廣泛。無論是電子元器件的微小表面檢測(cè)，還是科研實(shí)驗(yàn)中局部微觀結(jié)構(gòu)的分析，都需要一款適配性強(qiáng)、性能可靠的測(cè)量?jī)x器。ContourX-200 三維光學(xué)輪廓儀，正是針對(duì)這類需求打造，憑借緊湊設(shè)計(jì)與穩(wěn)定性能，成為中小量程測(cè)量場(chǎng)景的理想選擇。
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參數(shù) | 詳情 |
最大掃描量程 | ≤5 mm |
垂直分辨率 | ＜0.02 nm |
水平分辨率 | 0.5 μm（Sparrow 準(zhǔn)則） |
臺(tái)階高度準(zhǔn)確性 | ＜1.0% |
臺(tái)階高度重復(fù)性 | ＜0.2% 1 sigma repeatability |
最大掃描速度 | 25 μm/sec（標(biāo)準(zhǔn)攝像頭配置） |
樣品反射率范圍 | 0.1% 到 100% |
最大樣品傾角 | ≤35°（光滑表面）；≤80°（粗糙表面） |
樣品高度 | ≤80 mm（3.15 in.） |
XY 樣品臺(tái) | 100 mm（4 in.）手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)（可選配半自動(dòng)編碼器） |
Z 軸聚焦 | 手動(dòng) / 半自動(dòng)可選 |
傾斜功能 | ±3° 手動(dòng)調(diào)節(jié) |
光學(xué)計(jì)量模塊 | 定制化單色 LED 照明；單物鏡適配器；可選手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤 |
物鏡 | Parfocal: 5X, 10X, 20X, 50X；LWD: 2X, 5X, 10X |
放大器 | 0.75X, 1X, 1.5X |
攝像頭 | 單色（標(biāo)準(zhǔn)）；3 MP with 800×600 data array |
軟件系統(tǒng) | VisionXpress 基礎(chǔ)版分析軟件（兼容 Windows 10 OS；32/64-bit） |
自動(dòng)測(cè)量功能 | 可選配半自動(dòng)掃描、自動(dòng)聚焦（需升級(jí)模塊） |
校準(zhǔn) | 通過 NIST/PTB 可追溯臺(tái)階高度與橫向標(biāo)尺標(biāo)準(zhǔn) |
設(shè)備尺寸 | 400 mm（W）x 520 mm（D）x 650 mm（H） |
重量 | 55 kg |
保修期 | 12 months |
設(shè)備啟動(dòng)與準(zhǔn)備：將儀器放置在水平工作臺(tái)面，連接電源與電腦（需安裝配套軟件），打開設(shè)備開關(guān)與軟件系統(tǒng)。等待儀器自檢完成（約 2-3 分鐘），期間避免觸碰樣品臺(tái)與光學(xué)部件。清潔樣品表面，去除灰塵、油污等雜質(zhì)，防止影響測(cè)量結(jié)果。
樣品放置與定位：根據(jù)樣品尺寸，調(diào)整樣品臺(tái)夾具（若樣品較小，可使用專用載物片固定），將樣品平穩(wěn)放置在樣品臺(tái)中央。通過手動(dòng)旋鈕移動(dòng)樣品臺(tái)，配合軟件中的實(shí)時(shí)圖像，將待測(cè)量區(qū)域調(diào)整至視野中心，確保成像清晰。
參數(shù)設(shè)置與測(cè)量：在軟件中選擇測(cè)量模式（手動(dòng) / 半自動(dòng)），設(shè)置掃描量程（建議根據(jù)樣品預(yù)估高度差選擇，避免量程過大影響效率）、分辨率等參數(shù)。點(diǎn)擊 “開始測(cè)量"，儀器將自動(dòng)（或半自動(dòng)）完成掃描，過程中保持環(huán)境穩(wěn)定，避免震動(dòng)與強(qiáng)光直射。
數(shù)據(jù)處理與保存：測(cè)量完成后，軟件將自動(dòng)生成三維形貌圖與相關(guān)參數(shù)（如粗糙度 Ra、Rz 等）?？衫密浖械姆治龉ぞ哌M(jìn)行數(shù)據(jù)篩選、標(biāo)注，生成測(cè)量報(bào)告。確認(rèn)數(shù)據(jù)無誤后，選擇合適格式（如 Excel、圖片格式）保存報(bào)告，便于后續(xù)分析與存檔。
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