布魯克白光干涉光學輪廓儀是一種用于表面形貌測量的光學設(shè)備。該儀器基于白光干涉原理，能夠?qū)Χ喾N材料的表面進行非接觸式三維形貌測量。其核心部件包括光源系統(tǒng)、干涉鏡頭、精密位移臺和信號處理單元。設(shè)備采用模塊化設(shè)計，可根據(jù)用戶需求選配不同放大倍率的物鏡，以適應從微米到納米級別的測量需求。布魯克白光干涉輪廓儀產(chǎn)品介紹

該產(chǎn)品的主要用途包括材料科學、微電子制造、精密加工和生物醫(yī)學等領(lǐng)域的表面質(zhì)量檢測。例如，在半導體行業(yè)，可用于晶圓表面粗糙度和臺階高度的測量；在光學加工中，可用于透鏡和反射鏡的面形檢測。

儀器使用高剛性合金材料外殼，內(nèi)部光學元件采用抗環(huán)境干擾設(shè)計，具有良好的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性。配套的操作軟件提供數(shù)據(jù)采集、分析和報告生成功能，用戶可通過圖形界面輕松完成測量設(shè)置和結(jié)果解讀。

參數(shù)方面，該型號垂直分辨率可達0.1納米，橫向分辨率取決于物鏡配置，最高可達0.3微米。掃描范圍通常為數(shù)毫米至數(shù)十毫米，具體取決于型號和配置。測量速度可根據(jù)精度要求進行調(diào)整，平衡效率與數(shù)據(jù)質(zhì)量。

使用該設(shè)備時，需先將樣品固定在載物臺上，通過軟件選擇測量區(qū)域和參數(shù)，啟動自動測量程序即可。儀器支持自動聚焦和多區(qū)域掃描功能，適合批量檢測需求。定期維護包括光學元件清潔和系統(tǒng)校準，以保證長期使用的穩(wěn)定性。布魯克白光干涉輪廓儀產(chǎn)品介紹