Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)的高精度表面測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備采用非接觸式測(cè)量方式，適用于多種材料表面的三維形貌分析，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的表面質(zhì)量控制。Sensofar輪廓儀高精度表面測(cè)量解決方案

設(shè)備具備高分辨率和高精度，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)表面粗糙度的測(cè)量，滿(mǎn)足ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量要求。其共聚焦技術(shù)提供高橫向分辨率，可達(dá)0.10μm，適用于臨界尺寸的測(cè)量。干涉技術(shù)則提供納米級(jí)精度的表面高度測(cè)量，適用于光滑表面的精細(xì)測(cè)量。多焦面疊加技術(shù)則適用于粗糙表面的測(cè)量，最大斜率可達(dá)86°，適用于工件和模具的測(cè)量。

設(shè)備支持多種放大倍率和視場(chǎng)選擇，適用于不同尺寸和形狀的樣品測(cè)量。其非接觸式測(cè)量技術(shù)避免了對(duì)樣品的損傷，適用于多種材料表面的測(cè)量。設(shè)備配備高分辨率傳感器和自動(dòng)聚焦功能，操作簡(jiǎn)便，適合快速測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。Sensofar輪廓儀高精度表面測(cè)量解決方案

Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)于一體的高精度表面測(cè)量設(shè)備。其核心優(yōu)勢(shì)在于非接觸式測(cè)量，適用于多種材料表面的三維形貌分析。設(shè)備具備高分辨率和高精度，適用于半導(dǎo)體、精密光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的表面測(cè)量。

設(shè)備采用共聚焦技術(shù)，具備高橫向分辨率，可達(dá)0.10μm，適用于臨界尺寸測(cè)量。干涉技術(shù)則提供納米級(jí)精度的表面高度測(cè)量，適用于光滑表面的精細(xì)測(cè)量。多焦面疊加技術(shù)則適用于粗糙表面的測(cè)量，最大斜率可達(dá)86°，適用于工件和模具的測(cè)量。

設(shè)備支持多種放大倍率和視場(chǎng)選擇，適用于不同尺寸和形狀的樣品測(cè)量。其非接觸式測(cè)量技術(shù)避免了對(duì)樣品的損傷，適用于多種材料表面的測(cè)量。設(shè)備配備高分辨率傳感器和自動(dòng)聚焦功能，操作簡(jiǎn)便，適合快速測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。