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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SensofarS neoxSensofar 微觀世界的探索先鋒

Sensofar 微觀世界的探索先鋒

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Sensofar 微觀世界的探索先鋒
在微觀測(cè)量領(lǐng)域,Sensofar S neox 三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以其創(chuàng)新融合的技術(shù),成為探索微觀世界的有力工具。

產(chǎn)品型號(hào):S neox
更新時(shí)間:2026-01-05
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:208
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在微觀測(cè)量領(lǐng)域,Sensofar S neox 三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以其創(chuàng)新融合的技術(shù),成為探索微觀世界的有力工具。Sensofar 微觀世界的探索先鋒
產(chǎn)品細(xì)節(jié)
S neox 設(shè)計(jì)緊湊,機(jī)身小巧精致,易于安置在各類實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)車間的臺(tái)面上。其操作界面簡(jiǎn)潔直觀,通過(guò)清晰的顯示屏與便捷的控制按鍵,用戶能迅速完成測(cè)量模式選擇、參數(shù)調(diào)整等操作。樣品臺(tái)采用高精度的平移與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),可靈活精準(zhǔn)地定位樣品,確保測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確無(wú)誤。設(shè)備的光學(xué)部分配備了可調(diào)節(jié)的遮光罩,有效減少外界光線干擾,保證測(cè)量環(huán)境的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品性能
這款輪廓儀將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)集于一身。共聚焦技術(shù)提供高橫向分辨率,可清晰呈現(xiàn)樣品表面細(xì)節(jié),尤其適合測(cè)量高斜率表面;干涉技術(shù)能實(shí)現(xiàn)亞埃分辨率,在測(cè)量高度光滑表面時(shí)表現(xiàn)出色;Ai 多焦面疊加技術(shù)則可快速測(cè)量大粗糙表面形狀。測(cè)量過(guò)程中,數(shù)據(jù)采集連貫穩(wěn)定,能適應(yīng)從粗糙到超光滑等各種表面特性的樣品測(cè)量。
用材講究
S neox 在選材上十分用心。核心光學(xué)部件采用高透光率、低色散的優(yōu)質(zhì)光學(xué)玻璃,確保光線傳輸穩(wěn)定,成像清晰準(zhǔn)確。設(shè)備內(nèi)部的機(jī)械傳動(dòng)部件選用耐磨、高強(qiáng)度的合金材料,保障長(zhǎng)期使用過(guò)程中的運(yùn)動(dòng)精度與穩(wěn)定性。外殼采用堅(jiān)固且具有一定抗腐蝕能力的材質(zhì),有效保護(hù)內(nèi)部精密元件。
參數(shù)詳情
參數(shù)項(xiàng)
具體數(shù)值
橫向分辨率
最高可達(dá) 0.10μm
縱向分辨率
共聚焦模式下可達(dá) 300 - 8 納米,干涉模式下亞納米級(jí)
測(cè)量范圍
PSI 模式下縱向 20μm,ePSI 模式下 100μm,VSI 模式下 10mm,共聚焦 10mm,多焦面疊加 37mm
視場(chǎng)范圍
多種物鏡搭配,最大可達(dá) 7016x5280μm
掃描速度
共聚焦圖像幀率 12.5 幀 / 秒,垂直 3D 掃描 8 層 / 秒,干涉掃描速度 50fps
廣泛用途
在半導(dǎo)體制造中,可精確測(cè)量芯片表面的微小結(jié)構(gòu)、刻蝕深度等,助力提升芯片性能與生產(chǎn)質(zhì)量;在光學(xué)元件生產(chǎn)里,能檢測(cè)透鏡、反射鏡等的表面瑕疵與面形誤差,保障光學(xué)成像質(zhì)量;在材料科學(xué)研究中,用于分析薄膜厚度、表面微觀結(jié)構(gòu),為新材料研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
使用說(shuō)明
使用前,將設(shè)備放置在平穩(wěn)、無(wú)振動(dòng)的工作臺(tái)上,檢查電源連接及各部件是否正常。安裝樣品時(shí),根據(jù)樣品形狀與尺寸,利用樣品臺(tái)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將其穩(wěn)固固定,并確保表面清潔無(wú)雜質(zhì)。通過(guò)操作界面選擇合適的測(cè)量模式與參數(shù),如物鏡倍數(shù)、掃描范圍等。測(cè)量過(guò)程中,避免觸碰設(shè)備,防止干擾測(cè)量。測(cè)量結(jié)束后,及時(shí)清理樣品臺(tái),定期對(duì)光學(xué)鏡頭進(jìn)行清潔與保養(yǎng),以維持設(shè)備的良好性能。憑借技術(shù)融合、出色的性能與廣泛的適用性,Sensofar S neox 成為微觀測(cè)量領(lǐng)域的,為眾多行業(yè)的精密檢測(cè)與研究工作提供可靠支持。Sensofar 微觀世界的探索先鋒

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