西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2：高精度表面測(cè)量的利器

Sensofar 3D 表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2 是西班牙 Sensofar 公司推出的一款高性能儀器，主要用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量，為材料用戶提供準(zhǔn)確、可靠、全面的毫米級(jí)到納米級(jí)樣品制備及微觀形貌分析解決方案。三合一測(cè)量技術(shù)

S lynx 2 配備了干涉測(cè)量、共聚焦和 AI 多焦面疊加三種強(qiáng)大的測(cè)量技術(shù)。干涉測(cè)量中的白光垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)，適用于測(cè)量從光滑到適度粗糙的表面，無(wú)論物鏡的數(shù)值孔徑（NA）或放大倍數(shù)如何變化，均可提供納米級(jí)的垂直分辨率。共聚焦技術(shù)則具有更高的橫向分辨率，可達(dá) 0.10μm，能實(shí)現(xiàn)臨界尺寸測(cè)量，利用 150 倍、0.95 數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，在光滑表面測(cè)量斜率達(dá) 70°，粗糙表面達(dá) 86°。AI 多焦面疊加技術(shù)專為測(cè)量非常粗糙的表面形貌設(shè)計(jì)，具有快速（mm/s 級(jí)別）、掃描范圍大且支持大斜率（最大 86°）測(cè)量的特點(diǎn)，對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

高精度數(shù)據(jù)采集與處理

該輪廓儀采用*的光學(xué)測(cè)量解決方案，可針對(duì)各種材料的不同表面，自動(dòng)選擇優(yōu)良技術(shù)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，確保測(cè)量精度。采集計(jì)算在傳感器頭內(nèi)執(zhí)行，能充分利用 PC 功率進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，提高了數(shù)據(jù)處理效率。其系統(tǒng)噪聲低，配合*的算法，測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別，可滿足各類高精度測(cè)量需求。

大范圍擴(kuò)展測(cè)量能力

S lynx 2 具備*的拼接功能，創(chuàng)新算法覆蓋整個(gè)電動(dòng)平臺(tái)范圍，雖系統(tǒng)體積小巧，但能實(shí)現(xiàn) 125 x 75 毫米的測(cè)量范圍，可在更大范圍內(nèi)采集高分辨率數(shù)據(jù)，滿足大尺寸樣品或需要大面積測(cè)量的場(chǎng)景需求。

便捷的操作與豐富的軟件功能

S lynx 2 搭配 SensoSCAN 軟件系統(tǒng)，該軟件遵從 ISO:25178 標(biāo)準(zhǔn)，界面直觀，操作便捷。用戶只需找到測(cè)量位置，點(diǎn)擊 3D 測(cè)量按鈕，軟件即可自動(dòng)調(diào)整照明亮度、自動(dòng)對(duì)焦，并執(zhí)行優(yōu)良測(cè)量模式，快速呈現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量結(jié)果。軟件提供實(shí)時(shí)圖像，且有多種實(shí)時(shí)圖像模式可選，共聚焦照明模式下圖像幀率可達(dá) 9 幀 / 秒，明場(chǎng)照明模式下高達(dá) 30 幀 / 秒。此外，軟件還支持豐富的參數(shù)設(shè)定，優(yōu)化后的參數(shù)可存儲(chǔ)為單點(diǎn)或多點(diǎn)程序測(cè)量，方便重復(fù)測(cè)量。同時(shí)，交互式的 3D 和 2D 視圖提供了多樣的分析、演示和渲染選項(xiàng)，還具備數(shù)據(jù)補(bǔ)償、形狀去除、濾波分析等進(jìn)階分析功能，可滿足不同用戶的多樣化需求。

緊湊設(shè)計(jì)與廣泛適用性

S lynx 2 結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，可放置在生產(chǎn)車間或?qū)嶒?yàn)室的任何地方，不占用過(guò)多空間。其多功能性使其適用于多種表面測(cè)量應(yīng)用，涵蓋汽車、消費(fèi)電子、能源、LCD、材料科學(xué)、微電子、微制造、半導(dǎo)體、模具和手表制造等多個(gè)領(lǐng)域。無(wú)論是光滑的半導(dǎo)體晶圓，還是粗糙的模具表面，亦或是具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)部件，S lynx 2 都能憑借其多種測(cè)量技術(shù)，提供準(zhǔn)確的表面形貌測(cè)量結(jié)果。

總之，西班牙 Sensofar 3D 表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2 以其技術(shù)優(yōu)勢(shì)、便捷的操作和廣泛的適用性，成為 3D 光學(xué)輪廓測(cè)量領(lǐng)域的優(yōu)秀設(shè)備，為科研和工業(yè)生產(chǎn)中的表面測(cè)量提供了可靠的解決方案，有助于推動(dòng)各相關(guān)領(lǐng)域的高精度檢測(cè)與質(zhì)量控制水平提升。

西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2：高精度表面測(cè)量的利器