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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺(tái) INSTEC冷熱臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HP1000V-MPS 真空高溫探針臺(tái) INSTEC冷熱臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù) 氣體，來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-10-21
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：522
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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺(tái) INSTEC冷熱臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù) 氣體，來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

功能特點(diǎn)
mimi 型溫控探針臺(tái)，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用
獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK
模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合
*可升級(jí)為 8 個(gè)獨(dú)立探針
*SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動(dòng)點(diǎn)針 *可選三同軸接口，用于 pA 級(jí)測(cè)試
*可做定制或改動(dòng)，詳詢上海恒商
溫控參數(shù)
溫度范圍  30℃~1000℃
加熱塊材質(zhì)  陶瓷
傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）
最大升溫速率   50℃/min
最小溫控速度  ±0.1℃/min
溫度分辨率  0.1℃
溫度穩(wěn)定性  ±0.5℃
軟件功能  可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線
電學(xué)參數(shù)
探針  默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
探針座  可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂
點(diǎn)針  從外部移動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置
探針接口  默認(rèn)為 SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）
樣 品 臺(tái) 面 電 位  默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選 三同軸接口
光學(xué)參數(shù)
適用光路  反射光路
窗片  可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離  8/12 mm （可選） *截面圖中 WD
上蓋窗片觀察  窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面 圖中θ1
負(fù)溫下窗片除霜  吹氣除霜管路
結(jié)構(gòu)參數(shù)
適用樣品  25 mm*25mm
樣品腔高  4/8 mm （可選）
探針座  可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm
調(diào)節(jié)精度  10um
氣氛控制  真空腔，也可充入保護(hù)氣體
外殼冷卻  可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺(tái)體尺寸/重量  300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg
配置列表
基本配置  真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B 溫控器
可選配件  安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯 微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測(cè)試源表、三同軸 BNC、 臺(tái)面電懸空、樣品接電引線


以上是HP1000V-MPS 真空高溫探針臺(tái) INSTEC冷熱臺(tái)的詳細(xì)介紹


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