環(huán)境要求

AC 220V，50Hz，1kW，無(wú)需減震臺(tái)

加速電壓

3kV~20kV連續(xù)可調(diào)，1kV步進(jìn)

電子槍

單晶燈絲

放大倍數(shù)

360000x

分辨率

3nm

探測(cè)器

二次電子探測(cè)器、四分割背散射電子探測(cè)器、集成式能譜儀(選配)

樣品臺(tái)

兩軸：X:60mm Y：55mm
三軸、五軸可選

樣品容納大小

XY可自由移動(dòng)：105*87*51.5mm靜止：165*122*51.5mm
XY可自由移動(dòng)：75*72.8*26.6mm靜止：165*122*26.6mm

減速模式

選配(0-10kv樣品臺(tái)電壓減速)

成像模式

視頻模式：512x512像素，無(wú)需小窗口掃描；快掃模式：512x512像素
慢掃模式：2048×2048像素；圖像格式：BMP，TIFF，JPEG，PNG

導(dǎo)航功能

光學(xué)相機(jī)導(dǎo)航，艙內(nèi)攝像頭，可實(shí)時(shí)觀察樣品艙內(nèi)情況

自動(dòng)功能

自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、大圖拼接

尺寸

主機(jī)：650 × 370 × 642(mm)

拓展功能

兼容澤攸科技多種原位功能樣品臺(tái)（TEC冷臺(tái)、加熱臺(tái)、拉伸臺(tái)等）