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Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀S neox 從入門(mén)到批量檢測(cè)

更新時(shí)間:2025-10-11點(diǎn)擊次數(shù):361
Sensofar S neox 通過(guò)軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì),降低了精密測(cè)量的操作門(mén)檻,同時(shí)滿足專(zhuān)業(yè)用戶的深度需求。其操作體系以 SensoSCAN 軟件為核心,搭配便捷的硬件控制邏輯。
軟件界面采用模塊化布局,左側(cè)功能欄劃分測(cè)量模式選擇、參數(shù)設(shè)置等模塊,右側(cè)實(shí)時(shí)顯示樣品成像,底部狀態(tài)欄更新掃描進(jìn)度與存儲(chǔ)路徑。導(dǎo)航預(yù)覽功能可自動(dòng)生成低倍全景圖,用戶框選目標(biāo)區(qū)域后,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)整鏡頭位置,更換 2.5x 至 100x 物鏡時(shí),預(yù)覽圖同步顯示視場(chǎng)范圍,避免測(cè)量點(diǎn)丟失。
測(cè)量模式切換靈活,共聚焦、白光干涉、相位移干涉及多焦面疊加四種模式各有適配場(chǎng)景:共聚焦模式橫向分辨率 0.10μm,適合微小結(jié)構(gòu)識(shí)別;相位移干涉縱向分辨率達(dá)亞納米級(jí),適配超光滑表面;多焦面疊加技術(shù)支持 8mm 掃描深度與 86° 斜率測(cè)量。新手可直接使用默認(rèn)參數(shù),專(zhuān)業(yè)用戶則能手動(dòng)調(diào)整掃描范圍、光源波長(zhǎng)等參數(shù),調(diào)整效果實(shí)時(shí)預(yù)覽。
硬件操作同樣便捷,電動(dòng)樣品臺(tái)通過(guò)軟件操縱桿實(shí)現(xiàn) XYZ 軸移動(dòng),承重達(dá) 20kg,兩側(cè)可調(diào)節(jié)夾具穩(wěn)固固定工件。鏡頭采用卡扣式設(shè)計(jì),旋轉(zhuǎn)即可裝卸,軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別鏡頭型號(hào)并匹配參數(shù)。批量檢測(cè)時(shí)增配 SensoPRO LT 軟件,預(yù)設(shè)程序后可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量,支持行業(yè)專(zhuān)用模塊擴(kuò)展。
操作流程關(guān)鍵步驟表
操作階段
關(guān)鍵動(dòng)作
注意事項(xiàng)
準(zhǔn)備階段
清潔樣品臺(tái),固定樣品
樣品表面無(wú)雜質(zhì)
定位階段
啟動(dòng)預(yù)覽功能,框選區(qū)域
確認(rèn)物鏡倍率匹配
測(cè)量階段
選擇模式,設(shè)置參數(shù)
新手建議用默認(rèn)參數(shù)
批量檢測(cè)
預(yù)設(shè)程序,啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量
確保樣品裝載到位
該操作設(shè)計(jì)適配科研實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線場(chǎng)景,特斯拉超級(jí)工廠便利用其實(shí)現(xiàn)每分鐘 30 個(gè)電池極片的涂層檢測(cè)。


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